[实用新型]一种振动辅助的纳米辊压装置

权利要求书

1.一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，包括机架、四柱连接架、Z向振动装置、压印装置、微调装置、加热装置、衬底卡盘、冷却装置、X-Y轴位移平台、Z轴位移台,其中，机架水平放置在水平面上，四柱连接架通过螺钉固定在Z轴位移台上，微调装置通过螺钉固定在四柱连接架上，压印装置一端通过螺钉固定在四柱连接架的承重板上，另一端通过轴承配合固定在微调装置上，Z向振动装置通过螺钉固定在X-Y轴位移平台上，加热装置通过螺钉固定在Z向振动装置上，衬底卡盘装卡在加热装置上，冷却装置装卡在衬底卡盘的外表面，Z轴位移台和X-Y轴位移平台通过螺钉固定在机架上。

2.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的机架，包括肋板一、肋板二、肋板三、肋板四、底板一、支撑板一，其中，肋板一的一侧与支撑板一固连，另一侧与底板一固连，肋板二的一侧与支撑板一固连，另一侧与底板一固连，肋板三的一侧与支撑板一固连，另一侧与底板一固连，肋板四的一侧与支撑板一固连，另一侧与底板一固连，支撑板一与底板一固连。

3.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的四柱连接架，包括四柱连接架一、四柱连接架二,其中，四柱连接架一包括底板二、支撑柱一、支撑柱二、支撑柱三、支撑柱四、肋板五、肋板六、肋板七、肋板八、顶板，其中，支撑柱一的一端固连在底板二上，另一端固连在顶板上，支撑柱二的一端固连在底板二上，另一端固连在顶板上，支撑柱三的一端固连在底板二上，另一端固连在顶板上，支撑柱四的一端固连在底板二上，另一端固连在顶板上，肋板五固连于支撑柱一与底板二上，肋板六固连于支撑柱二与底板二上，肋板七固连于支撑柱三与底板二上，肋板八固连于支撑柱四与底板二上，顶板中间钻有圆形孔洞,四柱连接架二的结构与四柱连接架一完全相同。

4.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的Z向振动装置，包括直圆型柔性铰链一、直圆型柔性铰链二、直圆型柔性铰链三、直圆型柔性铰链四、压电陶瓷一、压电陶瓷二、预紧螺钉一、预紧螺钉二、工作台机架、工作台,其中，直圆型柔性铰链一固连于工作台机架顶部，直圆型柔性铰链二固连于工作台机架顶部，直圆型柔性铰链三固连于直圆型柔性铰链一的中间部位，直圆型柔性铰链四固连于直圆型柔性铰链二的中间部位，工作台一侧固连于直圆型柔性铰链三，一侧固连于直圆型柔性铰链四，压电陶瓷一一端与直圆型柔性铰链一接触，另一端由预紧螺钉一预紧，压电陶瓷二一端与直圆型柔性铰链二接触，另一端由预紧螺钉二预紧。

5.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的压印装置，包括压印辊、联轴器、伺服电机，其中，压印辊的表面具有微结构，两端通过轴承配合固定在微调装置的固定块五上，联轴器的一侧与伺服电机相连接，联轴器的另一侧与压印辊相连接，伺服电机通过螺钉固定在四柱连接架的承重板上。

6.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的微调装置，包括微调装置一、微调装置二，其中，微调装置一包括直梁型柔性铰链一、直梁型柔性铰链二、直梁型柔性铰链三、直梁型柔性铰链四、直梁型柔性铰链五、直梁型柔性铰链六、直梁型柔性铰链七、直梁型柔性铰链八、固定块一、固定块二、固定块三、固定块四、固定块五、铰链结构固定框一、微分头一、微分头二，其中，固定块一两侧通过直梁型柔性铰链一与铰链结构固定框一连接，固定块二两侧通过直梁型柔性铰链二与铰链结构固定框一连接，固定块三两侧通过直梁型柔性铰链三与铰链结构固定框一连接，固定块四两侧通过直梁型柔性铰链四与铰链结构固定框一连接，固定块五一侧通过直梁型柔性铰链五与固定块一连接，一侧通过直梁型柔性铰链六与固定块二连接，一侧通过直梁型柔性铰链七与固定块三连接，一侧通过直梁型柔性铰链八与固定块四连接，固定块五中间有圆形空洞，微分头一与固定块五连接，微分头二与固定块五连接， 微调装置二的结构与微调装置一的结构完全相同。

7.根据权利要求1中所述的一种振动辅助的纳米辊压装置，其特征在于，所述的冷却装置，包括进液管、出液管、阀门一、阀门二、空心“回”字管道，其中，进液管位于空心“回”字管道的左侧，阀门一位于进液管上，出液管位于空心“回”字管道的右侧，阀门二位于出液管上。