[实用新型]一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置

说明书

本实用新型是一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置，包括Z轴龙门架、X轴龙门架、载物台、控制系统、旋转台、夹紧头、一号清洗头，载物台底部有弹簧，四周有锁紧装置，载物台安装在交叉的Z轴龙门架和X轴龙门架中间，可以随控制系统设定在X轴方向和Z轴方向移动，旋转台上有夹紧头和一号清洗头，在控制系统控制下可以旋转，可以向辉光放电光谱仪的激发孔方向移动，辉光放电光谱仪的功率供应器与载物台的底部弹簧相连，功率供应器内部通有循环冷却水。本方法可以采用辉光放电光谱仪进行样品的自动移动、自动清洗和自动激发检测，通过对样品的激发检测实现样品元素含量的三维分布信息的采集。

技术领域

本实用新型是一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置，属于光谱分析技术领域。

背景技术

辉光放电发射光谱技术(简称GDS)可以通过离子溅射的方式将材料表面的原子层一层层溅射出，从而逐层(深度分辨率可达1～10nm)获得材料表面化学成分的定量分析结果，而且可以直观看出涂层或界面的厚度。GDS技术能直接进行导体、非金属、薄膜、半导体、绝缘体和有机材料等固体样品的表层分析和逐层分析，应用极为广泛。目前，GDS技术已经成功地应用于半导体工业、汽车工业、钢铁工业、玻璃、陶瓷工业、建筑材料工业等应用领域，在各种材料工业上的分析应用对材料的质量控制，改进材料的性能有重要作用。

但是目前的辉光放电光谱仪仅可以一次获得材料深度方向多元素的成分信息，不能在进行一个溅射点的深度分布分析后，自动移动到另一个分析溅射点进行深度分析，从而得到样品的化学元素三维分布数据。

发明内容

本实用新型正是针对上述现有技术状况而设计了一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置，其目的在于能够使用辉光放电光谱仪检测样品的化学成分三维分布信息。

为达上述目的，本发明采用如下的技术方案：

该种辉光放电光谱仪自动样品加载装置包括一个带Z轴龙门架1和X轴龙门架2的移动机构，载物台3安装在交叉设置的Z轴龙门架1和X轴龙门架2 上并随控制系统6的控制沿Z轴龙门架1和X轴龙门架2移动，载物台3的承载面为弹性体并与辉光放电光谱仪8的功率供应器5连接；

在载物台3的承载面的背面，设置由控制系统6控制的辉光放电光谱仪8，辉光放电光谱仪8的激发孔7与移动机构相对；

在载物台3的承载面的正面，设置一个旋转台10，旋转台10的旋转轴向与所述龙门架坐系中的水平Y轴平行，在旋转台10的前端面上设置有杆状的夹紧头11和一号清洗头12，旋转台10及夹紧头11、一号清洗头12由控制系统6控制，夹紧头11、一号清洗头12有内缩回旋转台10的结构。

在一种实施中，载物台3承载面的弹性体由弹簧4构成。

在一种实施中，载物台3在Z轴龙门架1和X轴龙门架2上的位置由位于载物台3四周的锁紧装置9锁定。

在一种实施中，激发孔的直径为1mm、2mm、4mm、7mm或8mm。

在一种实施中，所述移动机构、载物台3和旋转台10以及辉光放电光谱仪 8的激发孔7处于一个样品仓14内。

在一种实施中，载物台3的承载面的中心距离辉光放电光谱仪8的激发孔 7中心的最短距离为8-20cm。该距离使载物台3离开激发孔7，留出给激发孔7 清洗的位置，但距离太远，会导致移动时间太长及装置体积过大；

在一种实施中，在旋转台10的前端面上还设置有杆状的二号清洗头13，二号清洗头13由控制系统6控制，并有内缩回旋转台10的结构；