[实用新型]一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构

权利要求书

1.一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构，其特征在于：

所述的银基薄膜结构膜系结构为：在反射镜镜体(1)之上依次镀制粘合层一(2)、银膜(3)、粘合层二(4)、匹配层膜堆一(5)、介质反射膜堆(6)及匹配层膜堆二(7)；

所述反射镜镜体(1)为玻璃、熔石英、铝、钛、表面改性碳化硅或铍镜；

所述的粘合层一(2)为Al₂O₃、Ni、Cr、NiCr合金或NiCrN合金的单一膜层或多层复合膜，膜层厚度为10～50nm；

所述的银膜(3)的厚度为100～300nm；

所述粘合层二(4)为Al₂O₃层，厚度为5～30nm；

所述的匹配层膜堆一(5)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂的叠层，采用2层结构LH或4层结构LHLH，L为SiO₂，H为HfO₂；

所述的介质反射膜堆(6)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂构成的200～400nm波段的介质反射膜堆，膜系结构为a(LH)^x、a(LH)^xb(LH)^y或a(LH)^xb(LH)^yc(LH)^z，其中a、b、c表示反射膜堆的中心波长系数值，满足a>b>c，x、y、z表示叠层周期数，分别为2～5、6～8、6～8；

所述匹配层膜堆二(7)为低折射率膜SiO₂和高折射率膜HfO₂构成的叠层，采用单层结构L或三层结构LHL。