[实用新型]全自动扩散装卸片机

说明书

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。该装卸片机包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮。本实用新型通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。

背景技术

硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。但是现有的装卸硅片的工作效率较低，且容易沾染污物，影响加工效果。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种全自动扩散装卸片机，包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮，定位板滑配连接在机台上，石英舟直线驱动机构的滑座上固定有石英舟，石英舟滑配连接在机台上，推动气缸的活塞杆端固定在吹气机构上，吹气机构滑配连接在机台上，机台底下设有硅片升降台，机台上开设有用于穿过硅片升降台的穿槽。

具体地，所述三轴机械手由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成，X轴直线模组的缸体固定在机台上，Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组。

具体地，所述吸盘组是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。

具体地，所述硅片升降台是由升降气缸、平板和入料花篮组成，入料花篮通过插销连接在平板上，平板固定在升降气缸的活塞杆端。

具体地，所述花篮直线驱动机构和石英舟直线驱动机构均为直线模组。

具体地，所述吹气机构由框体、气嘴和腔室组成，框体顶板上固定有腔室，腔室与气嘴固定并连通，腔室与气泵相连通，气嘴位于框体内，框体固定在推动气缸的活塞杆上，框体滑配连接在机台上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的吸盘组的结构示意图；

图3是本实用新型的硅片升降台的结构示意图；