[实用新型]硅片导片机

说明书

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是硅片导片机。该导片机包括输送台、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台和污物吹除机构，所述输送台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二，花篮一和花篮二分别位于输送台两端，输送台的台体一端开设有用于穿过花篮一的穿槽。本实用新型通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过污物吹除机构来清除传送中的硅片正反两面的污物。本申请提高了硅片导片的效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是硅片导片机。

背景技术

硅片在加工运输的过程中，需要将硅片从一个花篮内，传送到另一个花篮内。但是现有的硅片导片的效率较低。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片导片机。通过输送台进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过污物吹除机构来清除传送中的硅片正反两面的污物。本申请提高了硅片导片的效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种硅片导片机，包括输送台、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台和污物吹除机构，所述输送台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二，花篮一和花篮二分别位于输送台两端，输送台的台体一端开设有用于穿过花篮一的穿槽，台体另一端开设有用于穿过花篮二的穿槽，两个相互对称的污物吹除机构固定在一起，输送台的台体位于两个污物吹除机构之间。

具体地，所述输送台由传动轮、皮带、传动带、驱动电机和台体组成，台体两端分别转动连接有传动轮，其中一端的传动轮通过传动带连接在驱动电机的输出轴上，驱动电机固定在台体上，台体两端的传动轮均贴合在皮带内圈，台体上开设有穿槽。

具体地，所述花篮一升降台由气缸一和定位板一组成，气缸一的活塞杆端固定有定位板一，定位板一通过插销与花篮一连接。

具体地，所述花篮二升降台由气缸二和定位板二组成，气缸二的活塞杆端固定有定位板二，定位板二通过插销与花篮二连接。

具体地，所述污物吹除机构由框体、扇叶和扇叶驱动电机组成，扇叶驱动电机固定在框体上，扇叶驱动电机的输出轴上固定有扇叶，扇叶位于框体内，两个污物吹除机构的框体通过支撑架固定在一起。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片导片机。通过输送台进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过污物吹除机构来清除传送中的硅片正反两面的污物。本申请提高了硅片导片的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型的污物吹除机构的结构示意图；

图中1.输送台，2.花篮一，3.花篮一升降台,4.花篮二，5.花篮二升降台，6.污物吹除机构，11.传动轮，12.皮带，13.传动带，14.驱动电机，15.台体，31.气缸一，32.定位板一，51.气缸二，52.定位板二，61.框体，62.扇叶，63.扇叶驱动电机。

具体实施方式