[实用新型]一种花篮除水装置

说明书

本实用新型公开了一种花篮除水装置。该花篮除水装置包括支撑组件、限位组件、限位驱动件、风刀组件及风刀驱动件，所述限位组件沿前后方向可活动地设在所述支撑组件上，所述限位组件被配置为支撑花篮，所述限位驱动件与所述限位组件相连以驱动所述限位组件活动，所述风刀组件可沿上下方向及左右方向可活动地设在所述支撑组件上，所述风刀组件被配置为朝向所述花篮吹风以去除所述花篮上的残留水分，所述风刀驱动件与所述风刀组件相连以驱动所述风刀驱动件活动。该花篮除水装置的除水效率较高，除水效果较好。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种花篮除水装置。

背景技术

硅片在完成加工后一般在花篮内，经过现有的硅片分片机进行分片，当硅片取出后花篮可进入插片机使用，但是花篮从分片机内出来后通常带有水分，在花篮进入插片机之前需要将水分去除。现有工艺通常的除水工艺是人工使用气枪吹干花篮，但是这种方式耗费人工，并且容易出现花篮上残留水分的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种花篮除水装置，所述花篮除水装置的除水效率较高，除水效果较好。

一种花篮除水装置，包括：支撑组件；限位组件，所述限位组件沿前后方向可活动地设在所述支撑组件上，所述限位组件被配置为支撑花篮；限位驱动件，所述限位驱动件与所述限位组件相连以驱动所述限位组件活动；风刀组件，所述风刀组件可沿上下方向及左右方向可活动地设在所述支撑组件上，所述风刀组件被配置为朝向所述花篮吹风以去除所述花篮上的残留水分；风刀驱动件，所述风刀驱动件与所述风刀组件相连以驱动所述风刀驱动件活动。

在一些实施例中，底盘，所述限位组件沿前后方向可活动地设在所述底盘上；龙门架，所述龙门架连接在所述底盘上，所述风刀组件可沿上下方向及左右方向可活动地设在所述龙门架上。

在一些施例中，所述限位组件包括：滑轨，所述滑轨设在所述底盘上；限位件，所述限位件可滑动地设在所述滑轨上，所述限位件与所述限位驱动件相连。

在一些具体的实施例中，所述限位件包括：限位部，所述限位部为两个，两个所述限位部沿左右方向间隔分布，所述花篮的两端分别止抵在两个限位部上；连接部，所述连接部连接在两个所述限位部之间，所述连接部与所述限位驱动件相连；其中：所述滑轨为两个，两个所述滑轨与两个限位部对应设置。

在一些更具体的实施例中，所述限位驱动件包括：限位丝杠，所述限位丝杠沿前后方向延伸设置，所述限位丝杠穿设在所述连接部上，所述限位丝杠转动的过程中可带动所述连接部可沿前后方向活动；限位电机，所述限位电机与所述限位丝杠相连以驱动所述限位丝杠转动。

在一些实施例中，所述风刀组件包括：第一活动块，所述第一活动块沿左右方向可活动地设在所述龙门架上；第二活动块，所述第二活动块沿上下方向可活动地设在所述第一活动块上；风刀，所述风刀设在所述第二活动块上，所述风刀上设有多个风孔，多个所述风孔被配置与空气压缩机相连。

在一些具体的实施例中，所述风刀包括：配合部，所述配合部为U型，所述配合部的封闭段与所述第二活动块相连；风条，所述风条连接在所述配合部的敞开端，且所述风条沿左右方向延伸设置，所述风条上设有沿左右方向间隔分布的多个所述风孔。

在一些具体的实施例中，所述风刀驱动件包括：第一丝杠，所述第一丝杠沿左右方向延伸设置，所述第一丝杠设在所述龙门架上且穿设在所述第一活动块上，所述第一丝杠转动过程中可带动所述第一活动块沿左右方向活动；第一电机，所述第一电机与所述第一丝杠相连以驱动所述第一丝杠转动；第二丝杠，所述第二丝杠沿上下方向延伸设置，所述第二丝杠可转动设在所述第一活动块上，且穿设在所述第二活动块上，所述第二丝杠转动过程中可带动所述第二活动块沿上下方向活动；第二电机，所述第二电机与所述第二丝杠相连以驱动所述第二丝杠转动。