[实用新型]二氧化钛基气体传感器

权利要求书

1.一种二氧化钛基气体传感器，其特征在于，包括依次设置的二氧化钛气敏层、叉指电极层、绝缘层以及加热电极，所述叉指电极层包括基板和设置在所述基板上的叉指电极，所述叉指电极为梳状结构，所述叉指电极和所述二氧化钛气敏层贴合接触。

2.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述叉指电极包括交错对称分布的第一电极和第二电极。

3.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极之间间隔有二氧化钛。

4.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述叉指电极层的厚度为10～50μm。

5.如权利要求2所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述叉指电极层还包括设置在所述叉指电极末端的信号引出极。

6.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述二氧化钛气敏层为多微孔状的二氧化钛微弧氧化膜，厚度为10～50μm。

7.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述绝缘层为二氧化钛陶瓷膜层，厚度10～50μm。

8.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述加热电极为蛇形结构。

9.如权利要求1所述的二氧化钛基气体传感器，其特征在于，所述加热电极的材质为Pt金属。