[实用新型]一种复合托盘有效
| 申请号： | 201921079033.4 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN211367717U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 孙健;周剑;陈晨;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 郝彩华 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 托盘 | ||
1.一种复合托盘，其特征在于：包括支撑单元以及用于搁置所述支撑单元的基板，每个所述支撑单元上均设置有用于放置硅片的硅片放置区，所述基板由C/C复合材料制成，所述支撑单元由石墨材料制成。
2.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述基板上设置有用于放置所述支撑单元的凹槽，所述凹槽贯穿所述基板的一端面。
3.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述基板上设置有用于放置所述支撑单元的开孔，所述开孔贯穿所述基板的相对两端面。
4.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元与所述基板可拆卸地连接。
5.根据权利要求4所述的复合托盘，其特征在于：所述复合托盘还包括用于连接所述基板与所述支撑单元的连接件，所述连接件为螺栓、弯钩、卡扣或钣金压条。
6.根据权利要求4所述的复合托盘，其特征在于：所述基板与所述支撑单元之间采用过渡配合连接。
7.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元有多个，各个所述支撑单元之间相互独立设置。
8.根据权利要求7所述的复合托盘，其特征在于：相邻两个所述支撑单元之间具有相互重叠的重叠区，相邻两个所述支撑单元之间通过一组连接件进行连接，所述连接件设置在所述重叠区位置处。
9.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元有多个，每个所述支撑单元至少与和其相邻的一个所述支撑单元一体设置形成连片结构。
10.根据权利要求9所述的复合托盘，其特征在于：相邻两片所述支撑单元之间具有相互重叠的重叠区，相邻两片所述支撑单元之间通过一组连接件进行连接，所述连接件设置在所述重叠区位置处。
11.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元有多个，多个所述支撑单元在所述基板上呈矩阵形式排布。
12.根据权利要求1所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元有多种规格，多种规格的所述支撑单元可更换地设置在所述基板上。
13.根据权利要求12所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元的硅片放置区的四个角上设置有切槽。
14.根据权利要求12所述的复合托盘，其特征在于：所述支撑单元的硅片放置区的四个角上设置有倒角或圆角。
15.根据权利要求12所述的复合托盘，其特征在于：多种规格的所述支撑单元的硅片放置区的尺寸大小不同。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
