[实用新型]一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路

权利要求书

1.一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，包括：

光电二极管，用于对准分子激光器发射出的激光进行探测得到电流信号；

有源滤波电路，用于对电流信号进行反向放大和滤波得到电压信号；

比较器，用于输入电压信号并在电压信号中有脉冲信号出现时输出上升沿信号；

触发器，用于输入上升沿信号进行触发并输出下降沿信号；

开关电路，用于输入下降沿信号并根据下降沿信号进行断通；

积分电路，用于根据开关电路的断开或连通情况，对电压信号进行积分处理；

供电电路，用于对能量探测电路进行供电；

其中所述积分电路中的积分电容为可变电容。

2.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，所述积分电路的积分时间由触发器的脉冲宽度来确定。

3.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，所述积分电路在积分处理中将电压信号中激光脉冲信号进行展宽并持平。

4.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，当开关电路断开时，积分电路积分；当开关电路导通时，积分电路停止积分。

5.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，供电电路采用TL1054CS8电源芯片的集成电路U7，将电源转化为对称输出的负电压；其中集成电路U7的1脚悬空，2脚接电容C26后连接4脚，3脚接地，5脚接-VOUT、接电容C28后接地，6脚和7脚悬空，8脚接Vin、接电容C25后接地；电容C26、电容C28及电容C25均为极性电容。

6.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，供电电路采用LM7805电源芯片将电源转换成+5V；其中LM7805电源芯片的1脚接Vin、接变压器T8、接电容C24后接地，2脚接地，3脚接电容C27后接地、接电感L2后接VCC及变压器T9。

7.根据权利要求1所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，有源滤波电路包括电阻R21、电容C36、集成电路U10、电阻R20、电容C35、电容C30、电容C34、变压器T11；

其中，光电二极管D1负极接地、正极接电阻R21；集成电路U10的1脚悬空，2脚接电阻R21、电容C36后接地、电阻R20、电容C35，3脚接地，4脚接电容C30后接地，5脚悬空，6脚接变压器T11、接比较器、接电阻R20及电容C35、接积分电路，7脚接Vin、接电容C34后接地，8脚悬空。

8.根据权利要求7所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，比较器包括电阻R9、电阻R22、电容C39、电阻R23、电容C38、电容C37、电阻R7、集成电路U11、电容C33；其中集成电路U11的1脚接触发器，2脚接VCC、接电容C37后接地，3脚接Vin、接电容C38后接地，4脚接电阻R7后接地，5脚接电阻R9后接集成电路U10的6脚、接电阻R22后接VCC及接电容C39后接地，6脚接电容C33后接地，7脚接电阻R23后接VCC，8脚接地。

9.根据权利要求8所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，触发器包括电阻R1、集成电路U9、电容C29、电阻R2、电容C32；其中集成电路U9的1脚接地，2脚接集成电路U11的1脚，3脚接电阻R1后接VCC，4脚接开关电路，5-13脚悬空，14脚接地、接电容C29，15脚接电容C29、接电阻R2后接VCC，16脚接VCC、接电容C32后接地。

10.根据权利要求9所述的用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路，其特征在于，开关电路包括三极管Q2、电阻R28、电阻R27、变压器T14；其中电阻R28一端接三极管Q2、接变压器T14，另一端接集成电路U9的4脚，三极管Q2另一端接积分电路、再一端接地、接电阻R27，电阻R27接积分电路；

积分电路包括电容C40、电容C41、电容C42、电容C43、集成电路U12、电阻R24、电阻R25、变压器T13；其中电容C43是可变电容；集成电路U12的1脚悬空，2脚接电阻R25后接集成电路U10的6脚、接电阻R27、接电容C42及电容C43，3脚接地，4脚接-VOUT、接电容C40后接地，5脚悬空，6脚接电阻R24后接变压器T13、接电容C42及电容C43，7脚接Vin、接电容C41后接地，8脚悬空。