[实用新型]一种外延炉废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种外延炉废气处理装置，包括处理装置本体，所述处理装置本体的内部固定连接有分割板，所述分割板的顶部活动连接有滤箱，所述分割板的顶部活动连接有与滤箱底部接触的支撑板，所述支撑板底部的四角均固定连接有支架，所述支架的底端贯穿至支撑板的底部并固定连接有套板，所述处理装置本体内壁的左侧与右侧均固定连接有连接块，所述连接块的内部通过销轴活动连接有摆杆，所述摆杆远离连接块的一端固定连接有位于套板内部的受力杆。该外延炉废气处理装置，解决了现有的废气处理装置不便于对净化材料进行更换，导致废气处理装置净化效率降低的问题，该外延炉废气处理装置，具备便于更换净化材料等优点。

技术领域

本实用新型涉及外延炉辅助设备技术领域，具体为一种外延炉废气处理装置。

背景技术

外延炉是用来将金属源气分解并将金属源气渡在半导体外延片表面的装置，使用方式是将半导体外延片衬底置于外延炉中，将硅源源气及碳源源气通入外延炉中，在1600℃左右的高温下源气分解后反应生成半导体并沉积于衬底上，从而将半导体外延片制作为高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。

外延炉在使用过程中需要配合废气处理装置进行使用，通过废气处理装置将外延炉排出的金属源气进行收集净化，但是现有的废气处理装置不便于对净化材料进行更换，导致废气处理装置的净化效率降低。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种外延炉废气处理装置，具备便于更换净化材料等优点，解决了现有的废气处理装置不便于对净化材料进行更换，导致废气处理装置净化效率降低的问题。

(二)技术方案

为实现上述的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种外延炉废气处理装置，包括处理装置本体，所述处理装置本体的内部固定连接有分割板，所述分割板的顶部活动连接有滤箱，所述分割板的顶部活动连接有与滤箱底部接触的支撑板，所述支撑板底部的四角均固定连接有支架，所述支架的底端贯穿至支撑板的底部并固定连接有套板，所述处理装置本体内壁的左侧与右侧均固定连接有连接块，所述连接块的内部通过销轴活动连接有摆杆，所述摆杆远离连接块的一端固定连接有位于套板内部的受力杆，所述受力杆与套板滑动连接，所述处理装置本体内部的左侧与右侧均设置有传动杆，所述传动杆表面的前侧与后侧均固定连接有转轮，所述转轮的外侧固定连接有位于摆杆内部的牵引杆，所述牵引杆与摆杆滑动连接，所述传动杆的表面固定连接有位于转轮内侧的齿轮。

优选的，所述处理装置本体的内部设置有传动机构，所述传动机构包括气缸，所述气缸固定连接在处理装置本体的内部，所述气缸的输出端固定连接有连接板，所述连接板的左侧与右侧均固定连接有与齿轮啮合的齿板。

优选的，所述处理装置本体内壁底部的左侧与右侧均固定连接有套设在传动杆表面的承重板，所述承重板与传动杆通过轴承活动连接。

优选的，所述处理装置本体内壁底部的左侧与右侧均固定连接有导杆，所述导杆位于套板的内侧，所述导杆的顶端贯穿连接板并与连接板滑动连接。

优选的，所述支撑板的底部固定连接有位于分割板顶部的防护垫，所述防护垫的底部与分割板的顶部接触，所述防护垫的材质为硅胶。

优选的，所述处理装置本体的内部固定连接有导向罩，所述导向罩位于滤箱的顶部，所述导向罩的顶端与处理装置本体的输出端对齐。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种外延炉废气处理装置，具备以下有益效果：