[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

权利要求书

1.一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，包括送料台（1）和设置在送料台（1）一侧的底座（2），其特征在于：所述送料台（1）上设有带有定位腔的定位块（3），所述底座（2）上设有一对滑轨（4），所述滑轨（4）上滑动连接有竖直向上的第一移动架（5），所述底座（2）与第一移动架（5）之间设有第一伸缩气缸（6），所述第一移动架（5）的上部设有的横向滑槽（7），所述横向滑槽（7）内嵌设有第一滑块（8），所述第一滑块（8）与第一移动架（5）之间设有滑动机构，所述第一滑块（8）的外端设有竖直向下的第二移动架（9），所述第二移动架（9）的位于送料台（1）的上方设有第一横架（10），所述第一横架（10）上设有竖直向下的一对第二伸缩气缸（11），一对第二伸缩气缸（11）的顶端之间设有下压板（12），所述下压板（12）上设有与定位块（3）配合的覆膜辊（13），所述第二移动架（9）内设有竖向下的纵向滑槽（14），所述纵向滑槽（14）内设有第二滑块（15），所述第二滑块（15）上设有第二横架（16），所述第二横架（16）上多个夹爪（17）。

2.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述纵向滑槽（14）内设有向下的丝杆（18），所述丝杆（18）与第二滑块（15）螺纹配合，所述第二移动架（9）内设有驱动电机（19），所述驱动电机（19）的输出轴与丝杆（18）的轴端部连接。

3.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述滑动机构包括设置在第一滑块（8）和第一移动架（5）之间的第三伸缩气缸（20），所述第三伸缩气缸（20）的顶端与第一滑块（8）连接，所述第三伸缩气缸（20）的末端与第一移动架（5）连接。

4.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述覆膜辊（13）为橡胶辊。

5.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述夹爪（17）上设有防滑齿。