[实用新型]一种全自动晶圆贴膜送料装置

权利要求书

1.一种全自动晶圆贴膜送料装置，其特征在于：包括输送辊架（1），所述输送辊架（1）的底部设有多个支架（2），所述支架（2）的底部设有行走轮（3），所述输送辊架（1）设有限位调节机构（4），所述限位调节机构（4）包括设置在输送辊架（1）底部的一对滑杆（5），每个所述滑杆（5）的下方设有与之平行的转动螺杆（6），所述转动螺杆（6）由正向螺杆（7）和反向螺杆（8）组成，所述正向螺杆（7）上螺纹连接有第一滑块（9），所述反向螺杆（8）螺纹连接有第二滑块（10），所述滑杆（5）的两端分别设有第一滑筒（11）和第二滑筒（17），所述第一滑筒（11）经连接架与第一滑块（9）连接，所述第二滑筒（17）经连接架与第二滑块（10）连接，所述输送辊架（1）的两侧分别设有第一限位板架（12）和第二限位板架（13），所述第一限位板架（12）与第一滑筒（11）连接，所述第二限位板架（13）与第二滑筒（17）连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴膜送料装置，其特征在于：所述第一限位板架（12）的侧壁设有多个竖直向下的第一转动辊（14）。

3.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆贴膜送料装置，其特征在于：所述第二限位板架（13）的侧壁设有多个竖直向下的第二转动辊（15）。

4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆贴膜送料装置，其特征在于：所述第一转动辊（14）和第二转动辊（15）均为橡胶辊。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴膜送料装置，其特征在于：所述输送辊架（1）上设有伺服电机（16），所述伺服电机（16）的输出轴与转动螺杆（6）的轴端部连接。