[实用新型]一种晶圆框架平整度检测装置

权利要求书

1.一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)，其特征在于：所述平整度检测仪主体(1)和摄像组件(2)之间通过线缆电性连接，所述摄像组件(2)包括握柄(3)和摄像头(4)，所述握柄(3)和摄像头(4)之间连接有定位机构，定位机构包括连接架(5)、活动槽(6)、压板(7)、压缩弹簧(8)、手拧螺杆(9)、橡胶缓冲垫(10)和刻度板(11)，所述连接架(5)焊接在握柄(3)的一端，所述活动槽(6)开设在连接架(5)的内部，所述活动槽(6)的内部固定有压缩弹簧(8)，所述压板(7)通过压缩弹簧(8)活动安装在活动槽(6)的内部，所述手拧螺杆(9)旋合嵌入到连接架(5)的内部，且所述手拧螺杆(9)的下端通过轴承与压板(7)转动连接，所述橡胶缓冲垫(10)粘合在压板(7)的一端，所述刻度板(11)的一端固定在摄像头(4)的表面，所述刻度板(11)的另一端插入到连接架(5)的内部并与橡胶缓冲垫(10)接触。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述摄像头(4)端部的两侧表面均固定有沟槽探杆(12)，所述摄像头(4)的侧表面安装有限位橡胶轮(13)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述沟槽探杆(12)的端部距摄像头(4)端部的水平距离为3cm，所述沟槽探杆(12)的端部距限位橡胶轮(13)端部的水平距离为2cm。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述握柄(3)端部通过定位机构连接的摄像头(4)共设置有两个，两个所述摄像头(4)关于握柄(3)的中轴线对称。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述压板(7)为桶状结构，所述压缩弹簧(8)为螺旋状结构，且所述压缩弹簧(8)的一端焊接在压板(7)的外表面，所述压缩弹簧(8)的另一端焊接在活动槽(6)的表面。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述橡胶缓冲垫(10)为圆形结构，且所述橡胶缓冲垫(10)的下表面等间距开设有凹槽。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆框架平整度检测装置，其特征在于：所述刻度板(11)为条形板状结构，且所述刻度板(11)的表面等间开设有刻度线。