[实用新型]一种硅单晶炉体快速锁紧机构

权利要求书

1.一种硅单晶炉体快速锁紧机构，其特征在于，包括炉盖、上炉室、锁紧结构，所述炉盖包括封头1和炉盖下法兰2，所述炉盖下法兰2设置在所述封头1下端，所述上炉室包括炉壁3和炉室上法兰4，所述炉室上法兰4设置在所述炉壁3上端，所述锁紧结构包括卡块和螺栓5，所述卡块结构外形为C型，所述卡块包括上卡块6和下卡块7，所述上卡块6上设置有通孔，所述下卡块7上设置有螺纹孔，所述螺栓5穿过所述通孔和所述螺纹孔将所述卡块固定卡紧在所述炉盖下法兰2和所述炉室上法兰4上，当旋松所述螺栓5时，所述上卡块6和所述下卡块7松动，即可取下所述锁紧结构。

2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉体快速锁紧机构，其特征在于，所述炉盖还包括炉盖上法兰8，所述炉盖上法兰8设置在所述封头1顶部。

3.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉体快速锁紧机构，其特征在于，所述上炉室还包括炉室下法兰9，所述炉室下法兰9设置在所述炉壁3下端。

4.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉体快速锁紧机构，其特征在于，还包括下炉室和底盘，所述上炉室与所述下炉室通过所述锁紧结构锁紧，所述下炉室与所述底盘通过所述锁紧结构锁紧。

5.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉体快速锁紧机构，其特征在于，所述锁紧机构还包括垫片10，所述垫片10垫衬在所述螺栓5和所述上卡块6之间。