[实用新型]一种两段式低温等离子体协同发生装置有效
申请号: | 201921087644.3 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN210544379U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 缪宏;张永京;耿寿林;张善文;张燕军;刘思幸;顾维忠;林正龙;朱国虎 | 申请(专利权)人: | 扬州大学;扬州市精固链传动机械制造有限公司 |
主分类号: | B01D53/86 | 分类号: | B01D53/86;B01D53/72;B01D53/32 |
代理公司: | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人: | 许必元 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 段式 低温 等离子体 协同 发生 装置 | ||
1.一种两段式低温等离子体协同发生装置,包括壳体(8);其特征在于:所述壳体(8)一侧设有进气口(1),所述壳体(8)的另一侧设有出气口(6),所述壳体(8)内设有控温层(2),所述控温层(2)的内顶面上连接设有高压电极(3),所述高压电极(3)的下方连接设有石英介质层(4),所述控温层(2)的内底面上连接设有若干个低压电极(7),所述低压电极(7)与石英介质层(4)之间设有间距,所述控温层(2)的内顶面与内底面之间设有催化反应载体(5),所述催化反应载体(5)紧靠所述出气口(6)设置。
2.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述催化反应载体(5)是由若干薄壁均等小通道构成的陶瓷蜂窝状结构。
3.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述低压电极(7)垂直设置在内底面上,低压电极(7)与低压电极(7)之间间隔均匀,低压电极(7)的顶部与石英介质层(4)的间距不大于5mm。
4.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述高压电极(3)与石英介质层(4)等长设置,石英介质层(4)的长度覆盖所有低压电极(7)。
5.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述催化反应载体(5)与出气口(6)均与控温层(2)内壁卡接设置。
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