[实用新型]一种两段式低温等离子体协同发生装置有效

专利信息
申请号: 201921087644.3 申请日: 2019-07-11
公开(公告)号: CN210544379U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 缪宏;张永京;耿寿林;张善文;张燕军;刘思幸;顾维忠;林正龙;朱国虎 申请(专利权)人: 扬州大学;扬州市精固链传动机械制造有限公司
主分类号: B01D53/86 分类号: B01D53/86;B01D53/72;B01D53/32
代理公司: 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 代理人: 许必元
地址: 225009 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 段式 低温 等离子体 协同 发生 装置
【权利要求书】:

1.一种两段式低温等离子体协同发生装置,包括壳体(8);其特征在于:所述壳体(8)一侧设有进气口(1),所述壳体(8)的另一侧设有出气口(6),所述壳体(8)内设有控温层(2),所述控温层(2)的内顶面上连接设有高压电极(3),所述高压电极(3)的下方连接设有石英介质层(4),所述控温层(2)的内底面上连接设有若干个低压电极(7),所述低压电极(7)与石英介质层(4)之间设有间距,所述控温层(2)的内顶面与内底面之间设有催化反应载体(5),所述催化反应载体(5)紧靠所述出气口(6)设置。

2.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述催化反应载体(5)是由若干薄壁均等小通道构成的陶瓷蜂窝状结构。

3.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述低压电极(7)垂直设置在内底面上,低压电极(7)与低压电极(7)之间间隔均匀,低压电极(7)的顶部与石英介质层(4)的间距不大于5mm。

4.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述高压电极(3)与石英介质层(4)等长设置,石英介质层(4)的长度覆盖所有低压电极(7)。

5.根据权利要求1所述的一种两段式低温等离子体协同发生装置,其特征在于:所述催化反应载体(5)与出气口(6)均与控温层(2)内壁卡接设置。

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