[实用新型]工作台及其磁浮重力补偿装置

权利要求书

1.一种磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置包括：

第一磁钢，所述第一磁钢呈筒状；

第二磁钢，所述第二磁钢呈筒状并设置在所述第一磁钢内且与所述第一磁钢径向间隔开；

至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述第二磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述第二磁钢的两轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述第二磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的筒壁厚小于所述第二磁钢的筒壁厚；

其中所述第一磁钢的充磁方向为径向充磁，所述第二磁钢和所述端部磁钢的充磁方向为轴向充磁。

2.如权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述磁浮重力补偿包括：第一支承件，所述第一支承件用于固定所述第一磁钢；第二支承件，所述第二支承件用于固定所述第二磁钢和端部磁钢，其中所述第一支承件和所述第二支承件能相对于彼此轴向运动。

3.根据权利要求2所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一支承件呈筒状，所述第一磁钢嵌设在所述第一支承件的内周表面内。

4.根据权利要求2所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第二支承件呈柱状，所述第二磁钢和所述端部磁钢嵌设在所述第二支承件的外周表面内。

5.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第二磁钢与所述端部磁钢之间的间隙为0.1-1.0mm。

6.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一磁钢由偶数个彼此径向间隔开的径向磁钢块组成，单个径向磁钢块的极弧系数的取值范围为0.75至0.98。

7.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第二磁钢的两端各设有一个端部磁钢。

8.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第二磁钢的至少一端设有两个以上端部磁钢。

9.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述端部磁钢的内径不小于所述第二磁钢的内径，且所述端部磁钢的外径不大于所述第二磁钢的外径。

10.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一磁钢、所述第二磁钢和所述端部磁钢的长度分别为La、Lb和Lc，其中Lb＞Lc。

11.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第二磁钢内径和所述端部磁钢内径分别为Db和Dc，γ1＝Db/Dc，γ1的取值为1/8至1。

12.根据权利要求2所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一支承件和所述第二支承件相对于彼此轴向运动的行程为S，λ1＝La/Lb，λ1的取值为1/4至1+2λ-2S/Lb。

13.根据权利要求2所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一支承件和所述第二支承件相对于彼此轴向运动的行程为S，λ2＝Lc/Lb，λ2的取值为1/4至3/8。

14.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述第一磁钢和所述第二磁钢之间的间距为Rg，Rg不小于所述第二磁钢与所述端部磁钢之间的间隙的十倍。

15.一种工作台，其特征在于，包括工作台本体，所述工作台本体下方设有凹腔，用于容纳根据权利要求1-14中任一项所述的磁浮重力补偿装置。

16.根据权利要求15所述的工作台，其特征在于，所述凹腔为三个凹腔或四个凹腔。