[实用新型]一种显微热分布测试设备

说明书

本实用新型提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；所述三轴机械臂工作末端上设置有工位切换件，所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块。该显微热分布测试设备通过将微距热成像模块和显微相机模块设置在一工位切换件上，微距热成像模块和显微相机模块在工位切换件的作业工位上的位置相对固定，保证微距热成像模块与待测零件之间的距离为最佳距离，保证了微距热成像效果，具有良好的实用性。

技术领域

本实用新型涉及电气检测领域，具体涉及到一种显微热分布测试设备。

背景技术

在电子元器件检测领域当中，电子元器件的高温失效分析等方面需要通过热分布测试实验进行测试。目前行业内热分布测试实验主要集中于宏观领域，微观领域的热分布测试实验较少；微观领域热分布测试实验对热成像仪与待测零件之间的距离要求严格，操作难度较大。

实用新型内容

为了降低显微热分布测试实验的操作难度，本实用新型实施例提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备操作难度低，热成像效果好，具有良好的实用性。

相应的，本实用新型提供了一种显微热分布测试设备，所述显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；

所述三轴机械臂工作末端上设置有具有若干个固定工位的工位切换件，所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块；所述工位切换件表面设置有若干个工位安装面，所述若干个工位安装面中的其中一个工位安装面对应的工位为作业工位，所述作业工位朝向所述二轴旋转支撑平台；所述显微相机模块和微距热成像模块分别设置在所述若干个工位安装面的其中两个安装面上；

所述二轴旋转支撑平台包括二轴运动模块和旋转平台模块，所述旋转平台模块设置在所述二轴运动模块的输出端，所述二轴运动模块驱动所述旋转平台模块在平面内运动；

所述旋转平台模块包括一绕自身轴线旋转的测试支撑板。

可选的实施方式，所述测试柜还设置有工位切换组件；所述工位切换组件包括工位切换连接板、工位切换电机、工位切换主动轮和工位切换从动轮；

所述工位切换连接板连接于三轴机械臂的工作末端上；所述工位切换电机本体固定在所述工位切换连接板上表面，所述工位切换电机输出轴穿过所述工位切换连接板并与所述工位切换主动轮连接，所述工位切换主动轮和工位切换从动轮之间啮合形成传动；

所述工位切换件与所述工位切换从动轮连接固定，所述若干个工位安装面沿所述位切换从动轮轴线圆周均匀分布。

可选的实施方式，所述显微相机模块包括CCD相机和直筒显微镜，所述CCD相机设置在所述工位切换件的其中一个工位安装面上；所述直筒显微镜设置在所述CCD相机镜头上。

可选的实施方式，所述微距热成像模块包括热成像仪和微距镜头；所述热成像仪设置于所述工位切换件的其中一个工位安装面上，所述微距镜头设置在热成像仪的成像镜头上。

可选的实施方式，所述二轴运动模块包括横向运动模块和纵向运动模块，所述纵向运动模块设置在所述横向运动模块的输出端上。

可选的实施方式，所述横向运动模块包括底板、顶板、横向光杆、横向连接块、横向运动板和横向电机；

所述底板和顶板相互固定平行，所述顶板中部沿横向开有横向通槽，两根所述横向光杆沿横向固定在所述顶板下方，且两根所述横向光杆设置位置分别位于所述横向通槽的纵向两侧；

所述横向连接块数量为两个，每一个所述横向连接块两端分别滑动配合在两根所述横向光杆上；每一个所述横向连接块中部穿过所述横向通槽，所述横向运动板固定在两个所述横向连接块上；