[实用新型]MEMS麦克风和包括MEMS麦克风的MEMS麦克风包装

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基板，其限定空腔，所述空腔包括沿竖直方向延伸的第一侧壁；

背板，其设置在所述基板上方并限定多个声孔；

膜片，其设置在所述基板和所述背板之间，所述膜片与所述基板和所述背板间隔开以覆盖所述空腔，所述膜片具有至少一个通气孔，并且被配置为感测声压以产生相应的位移；

锚固件，其从所述膜片的圆周开始延伸，将所述膜片的端部连接到所述基板的上表面，所述锚固件与所述基板的上表面连接以支撑所述膜片；以及

至少一个路径构件，其与所述通气孔连通，所述路径构件提供所述声压向下流向所述空腔的流动路径。

2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，由所述通气孔和所述路径构件限定的第一声阻大于由所述声孔限定的第二声阻。

3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述通气孔和所述路径构件设置为多个，并且所述通气孔和所述路径构件沿着所述膜片的圆周布置。

4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述通气孔和所述路径构件彼此重叠。

5.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述路径构件在竖直方向上延伸。

6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述锚固件定位在所述基板的上表面上并围绕所述空腔，并且

所述路径构件沿着穿透孔的内侧壁延伸，所述穿透孔连接到所述锚固件并穿透所述基板。

7.如权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述基板还包括从其中心线向外延伸的空腔延伸部分。

8.如权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述空腔延伸部分与所述路径构件连通。

9.一种MEMS麦克风包装，其特征在于，包括：

基板，其限定空腔，所述空腔具有沿竖直方向延伸的第一侧壁；

背板，其设置在所述基板上方并限定多个声孔；

膜片，其设置在所述基板和所述背板之间，所述膜片与所述基板和所述背板间隔开以覆盖所述空腔，所述膜片具有至少一个通气孔，并且被配置为感测声压以产生相应的位移；

锚固件，其从所述膜片的圆周延伸以将所述膜片的端部连接到所述基板的上表面，所述锚固件与所述基板的上表面连接以支撑所述膜片；

至少一个路径构件，其与所述通气孔连通，所述路径构件提供所述声压向下流向所述空腔的流动路径；以及

包装部分，其完全环绕所述基板、所述背板、所述膜片、所述锚固件和所述路径构件，所述包装部分包括底部端口，所述底部端口提供声压的流动路径。

10.如权利要求9所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，由所述通气孔和所述路径构件限定的第一声阻大于由所述声孔限定的第二声阻。

11.如权利要求9所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述通气孔和所述路径构件设置为多个，并且所述通气孔和所述路径构件沿所述膜片的圆周布置。

12.如权利要求9所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述通气孔和所述路径构件彼此重叠。

13.如权利要求9所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述路径构件在竖直方向上延伸。

14.如权利要求9所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述锚固件定位在基板的上表面上并围绕空腔，并且

所述路径构件沿着穿透孔的内侧壁延伸，所述穿透孔连接到所述锚固件并穿透所述基板。

15.如权利要求14所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述基板还包括从其中心线向外延伸的空腔延伸部分。

16.如权利要求15所述的MEMS麦克风包装，其特征在于，所述空腔延伸部分与所述路径构件连通。