[实用新型]基于探针台的载片防滑装置

说明书

本实用新型公开了基于探针台的载片防滑装置，包括载片台，所述载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置，所述第一防滑装置包括从载片台边缘向内依次固定的第一阻条、第二阻条和第三阻条。将晶圆放置在载片台上进行测试时，第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用，避免晶圆滑落破碎，避免生产造成损失。

技术领域

本实用新型涉及探针台设备领域，具体为基于探针台的载片防滑装置。

背景技术

在半导体行业、光电行业、集成电路以及封装测试的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测晶圆内部的电参数，由于晶片尺寸越来越小，位于晶片上的测试器件也越来越小，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号，因此，探针台被广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量中，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和产品制造工艺的成本，现有的探针台装置一般包括：显微镜、探针座、载片台，载片台用以承载待测试的晶圆。

目前，现有的载片台上表面为光滑平面，不具有限位阻挡作用，在测试操作过程中晶圆容易从载片台上滑落，造成碎片的风险，对生产造成损失。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对上述现有的载片台上表面为光滑平面，不具有限位阻挡作用，在测试操作过程中晶圆容易从载片台上滑落，造成碎片的风险，对生产造成损失的问题，本实用新型提供基于探针台的载片防滑装置。

本实用新型采用的技术方案如下：

基于探针台的载片防滑装置，包括载片台，所述载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置，所述第一防滑装置包括从载片台边缘向内依次固定的第一阻条、第二阻条和第三阻条。

工作原理：将晶圆放置在载片台上进行测试时，第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用，避免晶圆滑落破碎，避免生产造成损失。

进一步地，所述第一阻条、第二阻条和第三阻条是同心圆环结构。

进一步地，所述第一阻条比第二阻条和第三阻条的高度高1～3mm。

进一步地，所述第一阻条、第二阻条和第三阻条是橡胶材质。

进一步地，所述第二防滑装置是固定在第一阻条、第二阻条和第三阻条之间的防滑凸点。

进一步地，所述防滑凸点均是橡胶材质。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过在载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置，第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用，避免晶圆滑落破碎，避免生产造成损失。

附图说明

图1是本实用新型基于探针台的载片防滑装置的剖面图；

图2是本实用新型基于探针台的载片防滑装置的俯视图。

图中标记为：1-载片台，2-第一防滑装置，201-第一阻条，202-第二阻条，203-第三阻条，3-第二防滑装置，301-防滑凸点。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

下面结合图1和图2对本实用新型作详细说明。

实施例1

本实施例的结构，如图1所示，基于探针台的载片防滑装置，包括载片台1，所述载片台1顶壁上固定设有第一防滑装置2和第二防滑装置3，所述第一防滑装置2包括从载片台1边缘向内依次固定的第一阻条201、第二阻条202和第三阻条203。