[实用新型]大直径高效N型单晶硅的单晶炉有效
| 申请号： | 201921105646.0 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210215612U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉豪;徐文州;樊茂德;喻先丽 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直径 高效 单晶硅 单晶炉 | ||
1.大直径高效N型单晶硅的单晶炉，包括炉体(1)；所述炉体(1)上方设置有上炉腔(2)；所述上炉腔(2)上方设置有晶棒上升旋转装置(10)；所述炉体(1)的炉膛内设置有坩埚(3)；所述坩埚(3)下方设置有石墨托(4)；所述石墨托(4)下方设置有底部旋转支撑杆(15)；所述坩埚(3)外侧设置有加热装置(5)以及保温罩(6)；
其特征在于：所述保温罩(6)上方设置有环形布气筒(8)；
所述环形布气筒(8)与保温罩(6)顶部以及炉体(1)内壁之间形成惰性气体进入腔(17)；所述惰性气体进入腔(17)内设置有气体加热装置(9)；
所述坩埚(3)上方设置有导流筒(7)；所述导流筒(7)的上端与保温罩(6)的顶部连接；所述保温罩(6)底部设置有通气孔；所述炉体(1)上端设置有连通惰性气体进入腔(17)的进气口(16)；所述布气筒(8)上设置有连通惰性气体进入腔(17)的布气孔(81)，所述炉体(1)底部设置有出气口(13)。
2.如权利要求1所述的大直径高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于：所述导流筒(7)包括内筒(73)以及外筒(72)；所述内筒(73)的上端设置环形连接板(71)；
所述内筒(73)的内壁具有第一锥形段(74)、第二锥形段(75)和直筒段(76)；所述第一锥形段(74)通过第二锥形段(75)与直筒段(76)过渡；
所述第一锥形段(74)母线与水平面的夹角α小于第二锥形段(75)母线与水平面的夹角β；所述外筒(72)为锥形筒，所述外筒(72)的内壁与内筒(73)的外表面之间具有间隙；所述外筒(72)的上端与环形连接板(71)连接，所述外筒(72)的下端与内筒(73)的下端连接。
3.如权利要求2所述的大直径高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于：所述第一锥形段(74)母线与水平面的夹角α为60°，第二锥形段(75)母线与水平面的夹角β为80°。
4.如权利要求2所述的大直径高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于：所述炉体(1)上方设置有直接测量装置(11)。
5.如权利要求1所述的大直径高效N型单晶硅的单晶炉，其特征在于：所述气体加热装置(9)采用电阻加热器，所述电阻加热器包括圆柱电阻(91)，所述圆柱电阻(91)在惰性气体进入腔(17)内均匀分布。
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