[实用新型]大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置有效
| 申请号： | 201921105801.9 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210341126U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉豪;徐文州;耿荣军;喻先丽 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B30/04;C30B15/00 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直径 高效 单晶硅 磁控拉晶 装置 | ||
1.大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，包括炉体(1)；所述炉体(1)上方设置有上炉腔(7)；所述上炉腔(7)上方设置有晶棒提升旋转装置(8)；所述炉体(1)的炉膛内设置有坩埚(3)；所述坩埚(3)下方设置有石墨托(2)；所述石墨托(2)下方设置有底部旋转支撑杆(6)；所述坩埚(3)外侧设置有加热装置(5)以及保温罩(4)；所述炉体(1)底部设置有出气口(16)；所述上炉腔(7)上设置有保护气入口(71)以及抽真空口(72)；
其特征在于：所述炉体(1)的炉膛两侧均设置有磁场发生装置(11)；所述磁场发生装置(11)上设置有U型导磁体(12)；所述U型导磁体(12)一端与磁场发生装置(11)连接，另一端延伸到坩埚(3)与加热装置(5)之间；所述U型导磁体(12)的外表面上设置有隔热层(18)；所述U型导磁体(12)延伸到坩埚(3)与加热装置(5)之间的部分设置有均匀分布的导磁块(17)；所述炉体(1)炉膛的上部设置有U型导磁体(12)固定支架(14)。
2.如权利要求1所述的大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，其特征在于：所述保护气入口(71)连接有保护气供给装置(19)；所述保护气入口(71)与保护气供给装置(19)之间设置有换热装置(20)；所述出气口(16)与换热装置(20)连通。
3.如权利要求2所述的大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，其特征在于：所述加热装置(5)采用石墨加热器；所述炉体(1)底部设置有与石墨加热器连接的电极(15)。
4.如权利要求2所述的大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，其特征在于：所述炉体(1)上方设置有拉晶直径测量装置(13)。
5.如权利要求1所述的大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，其特征在于：所述磁场发生装置(11)采用PRM-PFM61工频磁场发生器。
6.如权利要求1所述的大直径高效N型单晶硅的磁控拉晶装置，其特征在于：所述隔热层(18)采用玻璃纤维层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐山新天源太阳能科技有限公司，未经乐山新天源太阳能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921105801.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于实验室的防腐样品柜
- 下一篇：一种高效镜片加工打磨装置
