[实用新型]一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构有效
| 申请号： | 201921111630.0 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210367897U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 曾咏嘉;刘俊智 | 申请（专利权）人： | 腾景科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人： | 李钢 |
| 地址： | 350015 福建省福州市马尾科技园*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 短波 波长 镀膜 结构 | ||
1.一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构，包括设于真空室（9）顶部中央的镀膜机台（1），所述镀膜机台（1）的机械转轴上连接有镀膜孔盘（7），其特征在于：真空室（9）顶部向下竖直安装有三根固定支架（2），三根所述固定支架（2）的规格一致，所述固定支架（2）的长度大于所述镀膜孔盘（7）到所述真空室（9）顶部的高度，所述固定支架（2）上设有外螺纹，所述固定支架（2）下方穿过镀膜伞遮片（3），所述镀膜伞遮片（3）上设有固定孔，上下两个螺母（4）穿过所述固定孔将所述镀膜伞遮片（3）可拆卸的安装在三个所述固定支架（2）上，所述镀膜伞遮片（3）吊接在所述镀膜孔盘（7）的下方、与所述镀膜孔盘（7）相互平行，所述镀膜孔盘（7）正中间安装有用于监控镀膜过程的监控片（8）。
2.根据权利要求1所述的一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构，其特征在于，所述固定支架（2）是规格为m12的螺杆，所述固定支架（2）的上端焊接在所述真空室（9）顶部。
3.根据权利要求1所述的一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构，其特征在于，所述镀膜伞遮片（3）的横截面形状为半弧形，半弧形所述镀膜伞遮片（3）所在的圆与所述镀膜孔盘（7）为同心圆。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构，其特征在于，所述镀膜伞遮片（3）由厚铝板材料制成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于腾景科技股份有限公司，未经腾景科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921111630.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
