[实用新型]废气处理装置及废气处理系统

说明书

本实用新型提供的废气处理装置以及系统，包括冷却腔体和刮除结构，冷却腔体用以使待处理气体中的有害物质在其内壁上凝结成凝结物；刮除结构包括刮除件和旋转驱动结构，刮除件设置在冷却腔体中，旋转驱动结构驱动刮除件转动以将凝结物刮除；旋转驱动结构包括驱动源、传动结构和旋转轴，旋转轴的一端与驱动源连接，另一端与传动结构连接，传动结构将驱动源的动力传递给刮除件，以使刮除件在围绕旋转轴公转的同时进行自转。通过冷却腔体和刮除结构能够有效去除废气中的有害物质，进一步地，刮除件在围绕旋转轴公转的同时还能够进行自转，在旋转轴旋转速度相同的条件下，有效提高刮除件与冷却腔体的内壁的运动速度，进一步提高刮除有害物质的效率。

技术领域

本实用新型属于废气处理领域，具体涉及一种废气处理装置及废气处理系统。

背景技术

真空镀膜机产生的尾气含有大量未参加反应的AsH₃、PH₃以及含砷化合物，因而需要对尾气中的AsH₃、PH₃以及含砷化合物进行废气处理。

作为一种常见的废气处理方法，通过使用过滤器过滤废气，但这种废气处理方法需要频繁更换滤芯，一方面，会增加原料消耗，另一方面，滤芯需要人工手动更换，增加劳动强度，且会对人体造成危害。

因此，本领域亟需一种避免原料消耗，同时避免对人体造成危害的废气处理系统。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种废气处理装置及废气处理系统。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种废气处理装置，其包括：

冷却腔体(1)，所述冷却腔体(1)用以使待处理气体中的有害物质在其内壁上凝结成凝结物；

刮除结构，所述刮除结构包括刮除件(3)和旋转驱动结构，所述刮除件(3)设置在所述冷却腔体(1)中，所述旋转驱动结构驱动所述刮除件(3)转动，以将凝结在所述冷却腔体(1)内壁上的凝结物刮除；

其中，所述旋转驱动结构包括驱动源(21)、传动结构和旋转轴(20)，所述旋转轴(20)的一端与所述驱动源(21)连接，另一端与所述传动结构连接，所述传动结构将所述驱动源(21)的动力传递给所述刮除件(3)，以使所述刮除件(3)在围绕所述旋转轴(20)公转的同时进行自转。

其中，所述废气处理装置包括自转旋转轴，自转旋转轴与所述旋转轴(20)平行。

其中，所述传动结构包括连接板(22)、导向轮(23)和从动轮(24)，其中，所述连接板(22)的一端与所述旋转轴(20)连接，所述自转旋转轴可旋转地设置在所述连接板(22)上，所述刮除件(3)与所述从动轮(24)均设置在所述自转旋转轴上，所述导向轮(23)设置在所述冷却腔体(1)的内壁上，所述导向轮(23)与所述从动轮(24)相互啮合，所述从动轮(24)的中心轴作为所述自转旋转轴。

其中，所述刮除件(3)为盘刷，所述盘刷的数量为至少一组，每组包括两个所述盘刷，两个所述盘刷沿所述旋转轴(20)的轴向分别设置在所述连接板(22)朝向所述冷却腔体(1)的一侧。

其中，每个所述传动结构中的所述连接板(22)的数量为两个，两个所述连接板(22)沿所述旋转轴(20)的轴向间隔设置，所述从动轮(24)设置在两个所述连接板(22)之间。

其中，所述盘刷的数量为多组，所述从动轮(24)的数量与所述盘刷的组数一致，所述从动轮(24)与每组所述盘刷一一对应的设置，多个所述从动轮(24)依次啮合。

其中，所述废气处理装置还包括壳体和轴承，所述旋转轴(20)的两端通过轴承与所述壳体可旋转的连接，所述旋转轴(20)与所述壳体之间设置有磁流体密封件，通过所述磁流体密封件与所述壳体密封连接。