[实用新型]多栅离子能量分析仪器及其探头有效
| 申请号： | 201921125490.2 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN209896025U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 程健;翟红雨;王梦永 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 栅网 网孔孔径 探头 网丝 横向电场 网孔 电位 本实用新型 分析仪器 离子能量 屏蔽作用 中心电势 电场 导体网 等离子 透过率 多栅 竖向 保证 编制 | ||
1.一种多栅离子能量分析仪器的探头，其特征在于，所述探头包括：
套筒，所述套筒两端分别覆盖有挡板和底板；所述挡板具有探头开口用于通过待检测离子；
位于套筒内的收集极；
位于所述套筒内的多层栅网，所述栅网位于所述收集极与所述挡板之间，所述栅网用于形成选择电场，使得高于电场能量的离子入射所述收集极；
其中，所述栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，且所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10-15倍。
2.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述挡板与相邻所述栅网之间、相邻所述栅网之间、所述收集极与相邻所述栅网之间、以及所述底板与所述收集极之间均设置有绝缘垫片。
3.根据权利要求2所述的探头，其特征在于，所述绝缘垫片为外径与所述套筒内径相同的圆环。
4.根据权利要求3所述的探头，其特征在于，所述圆环的上表面设置有与所述圆环同轴线的圆形凹槽；
所述挡板置于其下方相邻所述绝缘垫片的凹槽内；
所述栅网置于其下方相邻所述绝缘垫片的凹槽内；
所述收集极置于其下方相邻所述绝缘垫片的凹槽内。
5.根据权利要求2所述的探头，其特征在于，所述绝缘垫片为聚四氯乙烯垫片。
6.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述套筒、所述挡板、所述底板、所述收集极以及所述栅网的磁导率不大于1.1。
7.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述探头开口的半径不小于1.06mm，且不超过10mm。
8.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述套筒的半径不小于34.2mm，且不超过100mm。
9.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述栅网的导电率不小于106S/m；
所述栅网的硬度不小于37HRC；
所述栅网的膨胀系数不大于18.2m/m℃(at20-100℃)；
所述栅网的透过率不小于80％；
所述栅网的网孔为正六边形通孔；
相邻所述栅网之间的间距为4mm-7mm。
10.一种多栅离子能量分析仪器，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的探头。
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