[实用新型]一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚

说明书

本实用新型提供了一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，包括：依次首尾相接的坩埚长护板和坩埚短护板，所述坩埚长护板和坩埚短护板拼接为长方形的框体结构，坩埚长护板，由至少三块拼结板构成，相邻拼结板的连接处设置有连接板，所述连接板与坩埚长护板固定；坩埚短护板，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板相接。本实用新型的拼接结构的设计使得在高温条件下不易变形，便于安装，节约人力适合推广应用。

技术领域

本实用新型属于多晶技术领域，涉及一种坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。

背景技术

硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必要设备。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一。

硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，现有技术中的硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置的作用如下：在硅芯铸锭过程中，通过坩埚护板保护装置更好的保护长方形石英坩埚在作业过程中变形量大而损坏。但是现有技术中的保护装置具备下述缺陷：1、坩埚长护板长度太长，整体加工难度大，易损坏，安装也不方便；2、如若硅芯铸锭炉用坩埚护板保护装置都是采用一个长护板一体加工而成，容易造成坩埚护板加工成本高，安装困难；3、长方形的硅芯铸锭炉在生产过程中的高温情况下，长度和宽度方向上的变形量不同，长度方向上如果是一个长护板构成，容易易损坏，使用寿命较短。

综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本实用新型设计了一种结构合理的拼接结构、不易变形、使用效果好的坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。

发明内容

本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理的拼接结构、不易变形、使用效果好的坩埚保护装置及带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：一种坩埚保护装置，包括：依次首尾相接的坩埚长护板和坩埚短护板，所述坩埚长护板和坩埚短护板拼接为长方形的框体结构，

坩埚长护板，由至少三块拼结板构成，相邻拼结板的连接处设置有连接板，所述连接板与坩埚长护板固定；

坩埚短护板，设于坩埚长护板之间且两端与坩埚长护板相接。

作为进一步的改进，所述坩埚长护板之间设置有拉杆，所述拉杆的端部穿过坩埚长护板并通过螺母与坩埚长护板固定。

作为进一步的改进，所述拼接板与拼接板之间的拼接结构为L型。

作为进一步的改进，所述连接板为长方形。

作为进一步的改进，连接板的中线与相邻坩埚长护板拼接线重叠。

作为进一步的改进，所述连接板的材料为CC或者钼。

一种带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚，包括长方形石英坩埚和硅芯铸锭炉坩埚保护装置，所述硅芯铸锭炉坩埚保护装置设于长方形石英坩埚的外侧壁上。

与现有技术相比，本实用新型结构设置合理，通过采用拼接式，对比现有技术采用一体式加工，由于长度太长加工难度大，不便于安装，拼接式加工容易，而且便于安装，节约人力；2、由于长方形的结构使得高温下长度方向和宽度方向上受力不均，为防止坩埚长护板的变形，通过拉杆来连接长方形石英坩埚两侧的坩埚长护板，保护长方形石英坩埚的在高温工作下，不易受热变形，从而不易损坏，适合推广应用。

附图说明

图1是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的结构示意图；

图2是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的A部分的局部放大图；

图3是本实用新型带保护装置的硅芯铸锭炉坩埚的立体结构示意图；

图4是本实用新型硅芯铸锭炉坩埚保护装置的A部分的局部放大图；