[实用新型]一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构

说明书

本实用新型公开了一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，压板与底座可拆卸连接。硅胶皮层具有良好的防腐蚀性能，在冷却液中不会被腐蚀。同时硅胶皮层还具备一定的弹性，在压板与底座之间能起到密封圈的作用，使内部的磁铁与外部的冷却液隔绝，同时密封结构简单，便于拆装，方便后期维护。硅胶皮层为透明材质，便于查看硅胶皮层内的磁铁的状态，如果磁铁有异常可以直观看到。硅胶皮层的价格低廉，便于降低防水结构成本。

技术领域

本实用新型具体涉及一种磁控溅射阴极磁铁。

背景技术

磁控溅射技术目前国内外已大批量使用，它能制造各种功能性玻璃、复合板等产品。随着磁控溅射的普及，客户对磁控溅射的均匀性、可靠性的要求也越来越高。进而对磁控溅射的设备要求也越来越高。一般来讲，磁控溅射设备主要零部件包括电源装置、磁场装置、真空装置、气体控制器等因素。而磁场的保证是重中之重，它将直接影响到溅射的稳定性、均匀性、可靠性。

因磁场主要由磁铁产生，而据一般磁控设备的设计来看，磁铁都在靶材下面的冷却液中，冷却液长时间对磁铁的浸泡，会导致磁铁表面的保护层腐蚀，进而影响磁场强度。

市面上大多数解决方案是直接用不锈钢进行全封装，但此方法一是成本较高，二是无法维护，其中一处磁铁异常，整个装置需拆下来或者报废。另外，磁铁在内部的状态无法直观地了解到，如发生异常，不便排查。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种低成本、易安装、可重复更换且直观的磁控溅射阴极磁铁防水结构。

为了解决以上技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，压板与底座可拆卸连接。

进一步的，压板与硅胶皮层接触面为连续面。

进一步的，压板为框形件，磁铁和硅胶皮层设于框内，压板压住硅胶皮层。

进一步的，磁铁为长条状或由多块磁铁拼接成长条状，压板对应的长边上设有多个连接点与底座连接。

进一步的，多个连接点之间的距离不超过一设定值。

进一步的，设定值为40mm。

进一步的，压板与底座之间采用螺栓连接。

进一步的，底座设有定位槽，磁铁置于定位槽中。

进一步的，底座和压板采用不锈钢材料。

进一步的，硅胶皮层厚度为1mm。

本实用新型的有益之处在于，硅胶皮层具有良好的防腐蚀性能，在冷却液中不会被腐蚀。同时硅胶皮层还具备一定的弹性，在压板与底座之间能起到密封圈的作用，使内部的磁铁与外部的冷却液隔绝，同时密封结构简单，便于拆装，方便后期维护。硅胶皮层为透明材质，便于查看硅胶皮层内的磁铁的状态，如果磁铁有异常可以直观看到。硅胶皮层的价格低廉，便于降低防水结构成本。

附图说明

图1为本实用新型一实施例结构剖视图；

图2为本实用新型一实施例俯视图；

图3为本实用新型一实施例使用示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型进行详细描述：

本实用新型一实施例如图1至3所示，一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座1，磁铁2设于底座1上，磁铁2表面覆盖透明的硅胶皮层3，硅胶皮层3四周被压板4压在底座1上，压板4与底座1可拆卸连接。