[实用新型]一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置

说明书

本实用新型属于硬脆性材料的抛光设备领域，具体涉及一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置。包括水平支撑板，水平支撑板上端面上设有旋转驱动电机，旋转驱动电机轴连接第一驱动带轮；支撑板下方垂直板面设有竖向悬臂，悬臂底端设有抛头机构；抛头机构包括通过轴承座与悬臂相连的横向的抛光主轴，抛光主轴一端与第二驱动带轮相连，抛光主轴另一端连接抛光轮并通过端部锁紧螺母锁紧，抛光布设于抛光轮上；轴承座内设有轴承，第一驱动带轮与第二驱动带轮通过设于悬臂内的皮带相连；硬脆性材料载盘设于支座上端面；支座底端连接水平移动进给驱动组件。本实用新型抛头可以直接进行替换，具备很强的通用性。满足硬脆性材料边缘抛光轮廓的需求。

技术领域

本实用新型属于硬脆性材料的抛光设备领域，具体涉及一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置。

背景技术

硬脆性材料在各个领域应用非常广，其中以晶片为代表的硬脆性材料是制造超大规模集成电路的主要衬底材料，随着半导体产业的飞速发展，对衬底材料的精度要求也越来越高，特别是对晶片的外圆表面状态越来越严格。由于晶片不是一个标准的圆形，有些晶片有V型槽，有些晶片有切边，因此对于不同类型的晶片的边缘抛光一般需要在不同的设备上完成，而且大都采用化学抛光的方法，使用抛光液和抛光布，在特定的工艺条件下实现化学机械抛光的过程。对硬脆性材料进行边缘抛光时，参考面各处的抛光程度要一致，抛光后需具有相同的表面粗糙度。因此只有同时使外圆表面的上部分，中间部分以及下部分抛光程度一致(如图1所示)，这样才能保证这个参考面上各处具有一样的微粗糙度。

对于像晶片这种带V型槽或者切边的硬脆性材料进行边缘抛光时，传统的边缘抛光方法是抛光轮旋转，硬脆性材料固定不动，抛光轮直接和晶片边缘轮廓接触，这种方法应用非常广，但是一种设备只能抛光一类的硬脆性材料(V型槽或者切边)，通用性差。随着客户对设备产能及性价比的要求越来越高，一种既能抛光硬脆性材料的V型槽，又能抛光切边的装置也就成了未来市场的一个重要需求。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置，包括抛头传动机构和固定和翻转进给机构；抛头传动机构包括水平支撑板，水平支撑板上端面上设有旋转驱动电机，旋转驱动电机轴连接第一驱动带轮；水平支撑板与水平移动组件相连；

支撑板下方垂直板面设有竖向悬臂，悬臂底端设有抛头机构；抛头机构包括通过轴承座与悬臂相连的横向的抛光主轴，抛光主轴一端与第二驱动带轮相连，抛光主轴另一端连接抛光轮并通过端部锁紧螺母锁紧，抛光布设于抛光轮上；轴承座内设有轴承，第一驱动带轮与第二驱动带轮通过设于悬臂内的皮带相连；

固定和翻转进给机构包括支座，硬脆性材料载盘设于支座上端面，硬脆性材料载盘顶部设有吸盘，硬脆性材料载盘内设有真空管道，吸盘通过真空管道与设于硬脆性材料载盘下方的真空接头相连；支座底端连接水平移动进给驱动组件。

作为一种改进，抛光主轴端部连接防护罩壳，将抛光轮罩设于内。

作为一种改进，硬脆性材料载盘还与翻转电机相连，可将硬脆性材料载盘向上或者向下翻转。

作为一种改进，水平移动组件包括水平往复运动电机、水平往复运动丝杆螺母组件和水平往复运动导轨滑块组件，水平往复运动丝杆、水平往复运动电机和水平往复运动导轨均安装在水平固定板(水平固定板是固定不动的)，水平支撑板与滑块和丝杠螺母相连。水平往复运动电机驱动丝杆旋转，带动丝杆螺母运动，螺母带动水平支撑板运动，从而带动悬臂来回运动。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：

1、本实用新型提出的一种硬脆性材料的V型槽和切边的边缘抛光装置及方法抛 V型槽的抛头和抛切边的抛头可以直接进行替换，具备很强的通用性。