[实用新型]一种尘埃粒子计数器

权利要求书

1.一种尘埃粒子计数器，其特征在于，包括：具有气源和探测单元的主机、表面测试探头、零过滤器、计数器排气管和计数器进气管；

所述表面测试探头包括主体和设置在所述主体一端的底盖，所述主体具有吹气通道和吸气通道，所述底盖具有多个沿圆周方向间隔排布的吸气孔和多个沿圆周方向排布并大体沿径向延伸的吹气槽，所述主体的吹气通道与所述计数器排气管连通，所述主体的吸气通道与所述计数器进气管连通，所述吹气通道大体位于所述底盖的中心位置；

所述底盖的吹气槽通过所述计数器排气管与所述主机的气源连通；

所述底盖的吸气孔位于所述底盖的中心位置的外侧，所述底盖的吸气孔通过所述计数器进气管与所述主机的探测单元连通；

所述尘埃粒子计数器包括零过滤器，所述零过滤器用于将待提供给探测头的气体进行过滤。

2.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述计数器排气管上设有零过滤器。

3.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述零过滤器设置在所述主机内。

4.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述底盖的各个吸气孔临近所述底盖的外缘设置。

5.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述底盖的其中一个所述吹气槽呈波浪状。

6.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述吹气槽与所述吸气孔间隔分布。

7.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述吸气孔与待测物表面之间留有一定距离，以便于吸入待测物表面尘埃粒子。

8.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述主体上还设有吹气接头和吸气接头；所述吹气接头和所述吸气接头设于所述主体上远离所述底盖一端；所述吹气接头与所述吹气通道连接，所述吸气接头与所述吸气通道连接，所述计数器排气管与所述吹气接头连接，所述计数器进气管与所述吸气接头连接，以便于气流在所述主机和所述表面测试探头间流通。

9.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述主体和所述底盖之间的接合处设置有第一密封圈。

10.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器，其特征在于，所述底盖的内侧设置有用于与待测物接合的第二密封圈。