[实用新型]一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉有效
| 申请号： | 201921136235.8 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN210458361U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 冷春艳 | 申请（专利权）人： | 冷春艳 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 | 代理人： | 刘晶 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设有 散热 结构 钟罩式气相 化学 沉积 | ||
1.一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体(1)和探针天线(5)，其特征在于：所述沉积炉本体(1)的边侧安装有向下倾斜分布的进气管(2)，且沉积炉本体(1)通过连接件(3)和石英钟罩(4)相连接，并且石英钟罩(4)倒扣在沉积炉本体(1)内部的顶端，所述探针天线(5)垂直安装在沉积炉本体(1)的顶端，且探针天线(5)的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆(6)，所述沉积炉本体(1)的边侧安装有电动机(8)，且电动机(8)和垂直分布的转轴(7)相连接，所述石英钟罩(4)的内弧面上设置有冷却杆(9)，且冷却杆(9)的中心处固定安装在竖杆(6)底端，并且石英钟罩(4)的底端设置有桨叶(10)，所述探针天线(5)的底端设置有排气口(11)。
2.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述竖杆(6)的外壁与探针天线(5)的内壁为不接触设计，两者之间的空腔与石英钟罩(4)上方沉积炉本体(1)的内部空间相连通，且竖杆(6)和探针天线(5)通过轴承(61)相连接，竖杆(6)和转轴(7)上均安装有设置了皮带的皮带轮(62)。
3.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述冷却杆(9)呈弧形结构分布，冷却杆(9)的内部开设有同样为弧形结构的通道(91)，且通道(91)和开设在冷却杆(9)下端面的出气口(92)相连通，并且通道(91)的中段和开设在竖杆(6)内部的内腔(93)相连通，冷却杆(9)的底端中心处设置有竖轴(94)。
4.根据权利要求3所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述竖轴(94)转动安装在石英钟罩(4)中心处，且竖轴(94)的底端与桨叶(10)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述桨叶(10)为等角度分布，其下方设置有边缘固定在沉积炉本体(1)内壁的聚拢板(101)，且聚拢板(101)的中心凹陷区域为上下贯通开口设计。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
