[实用新型]一种等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置

权利要求书

1.一种等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：包括放电仓（16）和真空泵（13），所述放电仓（16）上部设置有气体入口，放电仓（16）下部设置气体出口，气体出口连接真空泵（13），所述放电仓（16）中设置有外电极（6）和内电极（7），外电极（6）为环状，内电极（7）位于外电极（6）的圆心位置，且外电极（6）的内表面光滑设置，内电极（7）为柱状，外电极（6）与内电极（7）分别连接中高频交流电源（28）。

2.根据权利要求1所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述内电极（7）为空心圆柱体，外电极（6）内设循环水通道（27），内电极（7）的内腔流过冷却水实现冷却，所述外电极（6）内的循环水通道流过冷却水实现冷却。

3.根据权利要求2所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述内电极（7）内的空腔连通回水管（9）和进水管（8），回水管（9）套设在进水管（8）外，回水管（9）通过内电极固定法兰（25）与放电仓（16）的侧壁固定连接，内电极固定法兰（25）连接有三通接头（24），进水管（8）从三通接头（24）的主管中穿过，回水管（9）与三通接头（24）的支管连通，回水管（9）外设有内电极绝缘层（10）。

4.根据权利要求3所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述三通接头（24）的主管和支管均连接绝缘水管，绝缘水管长度大于等于7m。

5.根据权利要求2所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述外电极（6）内的循环水通道（27）一端与外电极进水管（22）连通，另一端与外电极回水管（23）连通，外电极进水管（22）和外电极回水管（23）穿过放电仓（16）且通过外电极固定法兰（20）固定与放电仓（16）固定连接，外电极进水管（22）、外电极回水管（23）与外电极固定法兰（20）之间设有外电极绝缘体（21）。

6.根据权利要求5所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述外电极进水管（22）和外电极回水管（23）均连接绝缘水管，绝缘水管长度大于等于7m。

7.根据权利要求1所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述放电仓（16）内壁上设置有支架（15），支架（15）上安装绝缘支柱（14），外电极（6）安装在绝缘支柱（14）上且与放电仓（16）的内壁间隔设置。

8.根据权利要求1所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述放电仓（16）内水平设置有微孔均流板（5），微孔均流板（5）位于外电极（6）上方。

9.根据权利要求1所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：在所述气体出口设置升高管（11），升高管（11）置入放电仓（16）内，升高管（11）上部侧壁上设有多个通孔，升高管（11）下端连接排气管道（18），排气管道（18）上设有排气阀（17）和真空泵（13）。

10.根据权利要求1所述的等离子负压放电处理高浓度VOC工业废气装置，其特征在于：所述的气体入口连接进气管道（1），进气管道（1）上设有流量计（2）和进气阀（3）。