[实用新型]一种夹持装置及硅棒开方设备

权利要求书

1.一种夹持装置，用于夹持硅棒，其特征在于，所述夹持装置包括：

基座；

第一夹持部，包括：固定座和微调结构，所述固定座与所述基座固定连接，所述微调结构可转动地安装在所述固定座上；以及

第二夹持部，包括：底座和弹性结构，所述弹性结构与所述底座固定连接；

所述第二夹持部与第一夹持部相对设置于所述基座，所述底座与所述基座活动连接，所述弹性结构与所述微调结构相互配合用于夹持所述硅棒。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述基座上设有滑轨；

所述底座上设有与所述滑轨相匹配的滑块，所述底座通过所述滑块带动所述弹性结构沿所述滑轨滑动，以靠近或者远离所述微调结构。

3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述固定座具有第一容纳槽；

所述微调结构包括相对的第一侧面和第二侧面；

所述第一侧面上设有与所述第一容纳槽配合的转轴，所述转轴与所述第一容纳槽可转动地配合；

所述第二侧面与所述弹性结构相互配合，以夹持所述硅棒。

4.根据权利要求3所述的夹持装置，其特征在于，所述第一夹持部还包括：垫板，所述垫板设置于所述第二侧面远离所述第一侧面的一侧。

5.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述弹性结构包括：底板和设置于所述底板的至少一个弹性组件；

所述底板与所述底座固定连接；

所述底板上设有至少一个第二容纳槽以及与所述第二容纳槽对应相连的至少一个通孔；

所述弹性组件穿过所述通孔设置于所述第二容纳槽内，所述弹性组件与所述微调结构相对设置，所述弹性组件夹持所述硅棒时可沿通孔深度方向压缩。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于，所述弹性组件包括：弹性件和夹持件，所述夹持件通过所述弹性件可伸缩地设置于所述底板；

所述弹性件容纳于所述第二容纳槽内，所述弹性件的一端与所述底座连接；

所述夹持件包括夹持主体以及与所述夹持主体相连的夹持杆，所述夹持主体设置于所述第二容纳槽内与所述弹性件的另一端连接，所述夹持杆穿过所述通孔至少部分凸出所述底板，以夹持所述硅棒。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于，所述弹性组件还包括：顶紧头，所述顶紧头上设有凸起结构；

所述夹持杆凸出所述底板方向的面上设有第三容纳槽，所述凸起结构至少部分容纳于所述第三容纳槽。

8.根据权利要求7所述的夹持装置，其特征在于，所述顶紧头上与所述凸起结构的凸起方向相反的面上设有耐磨层，夹持所述硅棒时，所述耐磨层与所述硅棒接触。

9.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于，所述弹性组件的数量为多个时，多个所述弹性组件均匀分布在所述底板上。

10.一种硅棒开方设备，其特征在于，所述设备包括：权利要求1-9任一项所述的夹持装置。