[实用新型]可承载硅片的石英舟

权利要求书

1.可承载硅片的石英舟，其内部空间用于插放竖置硅片，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；其特征在于：

所述侧围中还设有支承杆；上述一对端板的内侧壁上分别设有：可供支承杆端部插放的U型托架；该对端板内侧壁上的U型托架对称设置；支承杆的两端架在一对对称设置的U型托架中。

2.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有两个上下设置的U型托架。

3.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有多个竖向依次设置的U型托架。

4.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有多个竖向等间隔依次设置的U型托架。

5.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有一组U型托架组，该组U型托架组由至少两个U型托架组成，且同一U型托架组中的各个U型托架处于同一高度。

6.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有两组U型托架组，该两组U型托架组上下设置，各组U型托架组都由至少两个U型托架组成，且同一U型托架组中的各个U型托架处于同一高度。

7.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有多组U型托架组，该多组U型托架组竖向依次设置，各组U型托架组都由至少两个U型托架组成，且同一U型托架组中的各个U型托架处于同一高度。

8.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的内侧壁上设有多组U型托架组，该多组U型托架组竖向等间隔依次设置，各组U型托架组都由至少两个U型托架组成，且同一U型托架组中的各个U型托架处于同一高度。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板上有一组U型托架组装配至少两个支承杆。

10.根据权利要求1所述的可承载硅片的石英舟，其特征在于，所述支承杆为槽杆，槽杆顶面设有一排可供硅片底边插放的竖向插槽，且槽杆上的插槽与侧架上的插槽相配合。