[实用新型]一种调整装置

说明书

本实用新型公开了一种调整装置，包括弧形接触面、炉门和支撑块，弧形接触面设置在支撑块与炉门之间，支撑块或炉门相应位置处设置有与弧形接触面相适应的结构；本实用新型提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整装置。

技术领域

本实用新型涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料加工设备的调整装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。

目前相应设备的炉门密封是靠密封板与炉框相接触的方式进行密封，且密封板为卡扣式，即密封板通过卡扣固定在炉门上，在炉门密封不严时，操作人员通过敲打卡扣的方式使密封板前进进行密封，但是，经过长时间使用，密封板与炉框相接触的位置磨损严重，再通过密封板对炉门与炉框进行密封的时候，就会出现密封不严的情况，从而导致炉门冒烟，影响环境卫生，同时还会对企业经济效益和社会效益造成严重的影响。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种调整装置，包括弧形接触面、炉门和支撑块，弧形接触面设置在支撑块与炉门之间，支撑块或炉门相应位置处设置有与弧形接触面相适应的结构。

进一步的，弧形接触面采用突出的圆弧面或凹陷的圆弧面。

进一步的，弧形接触面设置在支撑块靠近炉门一侧的中间位置，或设置在炉门靠近支撑块一侧的中间位置。

进一步的，所述相适应的结构采用圆弧面或整体呈圆柱形，圆柱形靠近弧形接触面的一端设置相应圆弧面。

进一步的，还包括调节件，调节件连接支撑块和炉门。

进一步的，调节件均匀分布设置在支撑块上，调节支撑块设置调节件所在点与炉门之间的距离。

进一步的，支撑块呈多角形，调节件设置在支撑块的角上。

进一步的，支撑块与炉门通过点连接固定，调节件支撑支撑块与炉门。

进一步的，调节件采用可伸缩结构，其两端分别与炉门和支撑块连接固定。

进一步的，调节件采用螺栓结构，支撑块上设置螺纹，调节件一端连接炉门，炉门对应位置处设置活动螺纹；或者支撑块上设置活动螺纹，炉门相应位置上设置螺纹，通过调节件进行连接炉门和支撑块。炉门上设置热电偶，支撑块的另一侧与升降模块连接，升降模块包括滑轨、气缸和固定件；固定件连接支撑块，气缸连接固定件，固定件设置在滑轨上。

本实用新型的优点在于：