[实用新型]一种芯片切割装置有效
申请号: | 201921147708.4 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN209963032U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 殷泽安;殷志鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州译品芯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215143 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工作台 空腔 真空管 本实用新型 底座顶端 定位凸起 冲切模 冲压缸 抽吸孔 支架 芯片切割装置 工作台顶端 表面开设 固定效果 切割过程 稳定放置 一端连接 伸缩端 真空泵 中芯片 底端 底座 切割 芯片 | ||
1.一种芯片切割装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶端设置有工作台(2),所述底座(1)顶端设置有支架(3),所述支架(3)上安装有冲压缸(4),所述冲压缸(4)的伸缩端连接有冲切模(5),所述冲切模(5)位于工作台(2)的正上方,所述工作台(2)顶端设置有若干均匀分布的定位凸起(13),所述定位凸起(13)表面开设有若干抽吸孔(14),所述工作台(2)内部开设有空腔(15),所述抽吸孔(14)的底端与空腔(15)相连通,所述空腔(15)上连接有真空管(16),所述真空管(16)远离空腔(15)的一端连接到外界的真空泵上。
2.根据权利要求1所述的一种芯片切割装置,其特征在于:所述工作台(2)内部开设有两组第一滑槽(7),所述第一滑槽(7)以工作台(2)的中心轴线为中心线左右对称分布,所述工作台(2)内部设置有第一螺杆(6),所述第一螺杆(6)的右端贯穿较左侧的第一滑槽(7)后延伸至较右侧的第一滑槽(7)中,并转动连接在该第一滑槽(7)的内部右端侧壁上,所述第一螺杆(6)的左端延伸至工作台(2)左侧,并安装有旋柄,所述第一滑槽(7)中滑动安装有第一滑块(8),所述第一滑块(8)通过螺纹套装在第一螺杆(6)外周,所述第一滑块(8)顶端通过连接杆(9)连接有限位板(10),所述限位板(10)位于工作台(2)上方。
3.根据权利要求2所述的一种芯片切割装置,其特征在于:所述工作台(2)的上端面设置有刻度尺(12)。
4.根据权利要求2所述的一种芯片切割装置,其特征在于:所述工作台(2)表面开设有与限位板(10)相对应的通槽(11)。
5.根据权利要求2所述的一种芯片切割装置,其特征在于:所述限位板(10)内部开设有第二滑槽(17),所述第二滑槽(17)中滑动安装有第二滑块(19),所述第二滑槽(17)内部底端转动连接有第二螺杆(18),所述第二螺杆(18)的顶端延伸至限位板(10)上方,并安装有旋柄,所述第二滑块(19)通过螺纹套装在第二螺杆(18)外周,所述第二滑块(19)上固定连接有压板(20),所述压板(20)滑动设置在限位板(10)表面。
6.根据权利要求5所述的一种芯片切割装置,其特征在于:所述压板(20)的下端面覆盖有缓冲垫(21)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造