[实用新型]一种氟化镁单晶生长炉

说明书

本实用新型提出了一种氟化镁单晶生长炉，料筒具有加料腔，料筒顶端外侧周向布置有多个调节板，调节板下方均设有一固定架，调节板通过弹性件与固定架连接，多个驱动件分别与多个调节板一一对应设置并分别用于驱动多个调节板在竖直方向上下移动；料筒底部出料口；加料腔内部设有竖直布置在加料腔中心为主的中心杆，中心杆底端设有可密封出料口的堵头，中心杆顶端伸出料筒外并与固定板连接，并且中心杆与料筒滑动配合；加料腔内在竖直方向间隔布置有多组加料件，加料件包括两个相对布置在中心杆两侧的翻转板，翻转板转动安装在料筒上；料筒侧壁位于翻转板上方位置设有用于向翻转板上料的上料口。本实用新型实现分层进料，也便于控制氟化镁分投入量。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉技术领域，尤其涉及一种氟化镁单晶生长炉。

背景技术

晶体生长炉是通过制造一个温度、压力相对稳定的环境而加速结晶，提高晶体结晶速度的设备，然而现有的晶体生长炉的加料器不便于分层放料，从而增加了放料的困难，同时不便于控制加料器的倾斜度，因此增加了工作人员的劳动强度。

实用新型内容

基于背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出了一种氟化镁单晶生长炉。

本实用新型提出的一种氟化镁单晶生长炉，包括坩埚以及设置在坩埚上方的加料装置，其特征在于，加料装置包括料筒和多个驱动件，其中：

料筒具有加料腔，料筒顶端外侧周向布置有多个调节板，调节板下方均设有一固定架，调节板通过弹性件与固定架连接，多个驱动件分别与多个调节板一一对应设置并分别用于驱动多个调节板在竖直方向上下移动；料筒底部设有出料口；加料腔内部设有竖直布置在加料腔中心为主的中心杆，中心杆底端设有可密封出料口的堵头，中心杆顶端伸出料筒外并与固定板连接，并且中心杆与料筒滑动配合；加料腔内在竖直方向间隔布置有多组加料件，加料件包括两个相对布置在中心杆两侧的翻转板，翻转板转动安装在料筒上且翻转板具有水平状态和倾斜状态；料筒侧壁位于翻转板上方位置设有用于向翻转板上料的上料口。

优选的，翻转板一端伸出料筒外部并与料筒转动连接，料筒外部位于翻转板下方位置设有限位板，翻转板位于料筒外部一端设有与限位板可拆卸连接的挂杆，当挂杆与限位板连接时，翻转板处于水平状态且翻转板位于加料腔内一端与中心杆抵靠，当挂杆与限位板断开连接时，翻转板处于倾斜状态。

优选的，料筒底部设有向内收缩的缓冲部且缓冲部底端设有与加料腔连通的出料口，堵头形状与缓冲部相适配。

优选的，驱动件包括凸轮和驱动电机，凸轮由驱动电机带动旋转以带动调节板上下移动。

本实用新型提出的一种氟化镁单晶生长炉，通过多个驱动件同时分别驱动多个调节板向上移动以带动料筒向上移动，使得堵头堵柱出料口，以此来控制氟化镁的投入量；由上料口向翻转板添加氟化镁，先将最底层的翻转板上的挂杆脱离限位板，该翻转板倾斜，其上的氟化镁落入料筒底部并由出料口进入坩埚中，再依次倾倒翻转板，实现分层进料，也便于控制氟化镁分投入量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种氟化镁单晶生长炉中加料装置的结构示意图。

具体实施方式

参照图1，本实用新型提出一种氟化镁单晶生长炉，包括坩埚以及设置在坩埚上方的加料装置，加料装置包括料筒1和多个驱动件，其中：

料筒1具有加料腔2，料筒1顶端外侧周向布置有多个调节板3，调节板3下方均设有一固定架4，调节板3通过弹性件5与固定架4连接，多个驱动件分别与多个调节板3一一对应设置并分别用于驱动多个调节板3在竖直方向上下移动。

料筒1底部设有向内收缩的缓冲部14且缓冲部14底端设有与加料腔2连通的出料口6，缓冲部14外壁可以为逐渐收缩的圆弧形，使得氟化镁原料在料筒1底部有一个缓冲以能够通过出料口6。