[实用新型]一种具有对称结构的单晶硅差压传感器

说明书

本实用新型公开了一种具有对称结构的单晶硅差压传感器，属于敏感元器件技术领域。一种具有对称结构的单晶硅差压传感器，包括烧结底座、单晶硅芯片、芯体座、芯体管路、基座、基座管路、中心膜片、中心腔室、隔离膜片、隔离腔室；所述芯体管路、基座管路、中心腔室、隔离腔室内均设置填充液；所述芯体管路相对于单晶硅芯片成对称分布，所述基座管路、中心腔室、隔离腔室相对于中心膜片呈轴对称分布，所述腔室中填充液相等。本实用新型具有如下优点：①腔室中填充液相等，传感器温度漂移小，综合性能好；②管路设计简洁，加工方便，成本低。

技术领域

本实用新型涉及敏感元器件技术领域，具体为一种具有对称结构的单晶硅差压传感器。

背景技术

现有单晶硅差压传感器，通常包括芯片、传感器正压腔、传感器负压腔、正压腔油路、负压腔油路、中心膜片、壳体接口等，具有如下问题：①内部结构不对称，正负压油路油量不相等，相当于对芯片施加正压/负压，进而影响传感器的温漂性能；②正负压油路设计复杂，加工成本高。针对上述问题，我公司开发了一种具有对称结构的单晶硅差压传感器。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺点，本实用新型旨在提出一种具有对称结构的单晶硅差压传感器，以克服现有技术存在的不足。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种具有对称结构的单晶硅差压传感器，包括烧结底座、单晶硅芯片、芯体座、芯体管路、基座、基座管路、中心膜片、中心腔室、隔离膜片、隔离腔室；所述芯体管路、基座管路、中心腔室、隔离腔室内均设置填充液；其特征在于，所述基座管路、中心腔室、隔离腔室相对于中心膜片呈轴对称分布，所述腔室中填充液相等。

作为优选，所述基座中设置有钢珠、顶丝，所述钢珠、顶丝用于密封充油孔。

作为优选，所述中心膜片、隔离膜片包括金属膜片。

作为优选，所述填充液包括硅油。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：由于传感器的基座结构呈轴对称分布，①腔室中填充液相等，传感器温度漂移小，综合性能好；②管路设计简洁，加工方便，成本低。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种具有对称结构的单晶硅差压传感器示意图。

图中：1-烧结底座、2-单晶硅芯片、3-芯体座、4-芯体管路、5-基座、6-基座管路、7-中心膜片、8-中心腔室、9-隔离膜片、10-隔离腔室、11-填充液、12-钢珠、13-顶丝、14-充油孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

一种对称结构的单晶硅差压传感器，包括烧结底座1、单晶硅芯片2、芯体座3、芯体管路4、基座5、基座管路6、中心膜片7、中心腔室8、隔离膜片9、隔离腔室10；所述芯体管路4、基座管路6、中心腔室8、隔离腔室10内均设置填充液11；

其特征在于，所述基座管路6、中心腔室8、隔离腔室10相对于中心膜片7呈轴对称分布，所述腔室中填充液11相等。

所述基座5中设置有钢珠12、顶丝13，所述钢珠12、顶丝13用于密封充油孔14。

所述中心膜片7、隔离膜片9包括金属膜片。

所述填充液11包括硅油。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。