[实用新型]多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，包括：

隔热笼，所述隔热笼包括顶部保温板；

内置于所述隔热笼内的坩埚，所述坩埚包括坩埚盖板；

气路结构，所述气路结构包括穿过所述顶部保温板和所述坩埚盖板连通于所述坩埚内的进气管、穿过所述坩埚盖板和顶部保温板连通所述坩埚内与所述铸锭炉外的若干排气管；

其特征在于：所述气路结构还包括位于所述顶部保温板外的气路保温板，位于所述顶部保温板外的部分所述排气管内置于所述气路保温板内。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚盖板中心设有第一进气孔，所述顶部保温板中心设有第二进气孔，所述进气管穿过所述第二进气孔和所述第一进气孔连通所述多晶硅铸锭炉外与所述坩埚内。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚盖板的周缘设有复数第一排气孔，所述顶部保温板的周缘设有复数第二排气孔，复数第二排气孔与复数第一排气孔一一对应，所述排气管包括连通所述第一排气孔与所述第二排气孔的第一排气管、内置于所述气路保温板内的第二排气管、连通所述第二排气管与所述多晶硅铸锭炉外的复数第三排气管。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚盖板上具有四个所述第一排气孔，且四个所述第一排气孔分布于所述坩埚盖板上的四个角。

5.根据权利要求3或4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述第一排气孔与所述第一进气孔之间的距离为500mm～550mm之间。

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：第一进气孔的半径介于50mm～55mm，所述第一排气孔的半径介于25mm～35mm。

7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述第二进气孔的半径介于55mm～60mm，所述第二排气孔的半径介于30mm～40mm，第二排气孔与第一排气孔之间的距离为500mm～550mm之间。

8.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述进气管、所述第一排气管、所述第三排气管均沿竖直方向延伸。

9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述排气管为石墨管或石英管。

10.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：第二排气管内嵌在所述气路保温板中，所述第二排气管还包括包覆于所述第二排气管内壁上的石墨软毡。