[实用新型]分体式烧结炉热场钢笼结构

说明书

本实用新型涉及半导体加工设备领域。分体式烧结炉热场钢笼结构，包括一钢笼主体，钢笼主体包括主钢笼，主钢笼包括上不锈钢圈、下不锈钢圈以及设置在上不锈钢钢圈和下不锈钢圈之间的不锈钢网；钢笼主体还包括设置在顶端的端部子钢笼，端部子钢笼与主钢笼可拆卸连接；钢笼主体还包括两个周向排布的周向子钢笼，两个周向子钢笼均设置在上不锈钢圈与下不锈钢圈之间；两个周向子钢笼分别为第一周向子钢笼与第二周向子钢笼，第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧，第二周向子钢笼与主钢笼可拆卸连接；周向子钢笼以及主钢笼上均开设有用于固定热场外层的毡圈的通孔。本专利通过优化钢笼主体的结构，拆卸方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及热场钢笼结构。

背景技术

热场烧结炉若无钢笼制成将会散开而无法正常工作。

目前现有的烧结炉上虽然有钢笼，但是现有的钢笼固定在热场的外侧，不便于于拆装。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供分体式烧结炉热场钢笼结构，以解决现有钢笼不便于拆装的问题。

本实用新型的技术方案是：分体式烧结炉热场钢笼结构，包括一钢笼主体，其特征在于，所述钢笼主体包括主钢笼，所述主钢笼包括上不锈钢圈、下不锈钢圈以及设置在上不锈钢钢圈和下不锈钢圈之间的不锈钢网，所述不锈钢网的圆心角不大于180°；

所述钢笼主体还包括设置在顶端的端部子钢笼，所述端部子钢笼与所述主钢笼可拆卸连接；

所述钢笼主体还包括两个周向排布的周向子钢笼，两个周向子钢笼均设置在所述上不锈钢圈与所述下不锈钢圈之间；

两个周向子钢笼分别为第一周向子钢笼与第二周向子钢笼，所述第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧，所述第一周向子钢笼的圆心角为90°-110°，所述第二周向子钢笼与所述主钢笼可拆卸连接；

所述周向子钢笼以及所述主钢笼上均开设有用于固定热场外层的毡圈的通孔。

本专利通过优化钢笼主体的结构，拆卸方便，并实现对热场外层的毡圈的固定。通过单独设置第一周向子钢笼用于固定在烧结炉腔体的炉门的内侧上，当烧结炉腔体的炉门关闭时，整个钢笼与毡圈合为一体，保证保温性能以及烧结炉热场的正常运行。

进一步优选的，所述上不锈钢圈以及所述下不锈钢圈上均焊接有向外延伸的耳座。便于整体的提拉、吊运。

进一步优选的，所述第一周向子钢笼的上下两端均焊接有向外延伸的耳座。便于提拉、吊运。

进一步优选的，所述上不锈钢圈上开设有用于在烧结炉腔体内进行定位的销孔。所述销孔可以设有两个。

进一步优选的，所述主钢笼的周向上的端部与所述第二周向子钢笼周向上的端部通过螺栓可拆卸连接；

所述主钢笼的轴向上的端部与所述第二周向子钢笼轴向上的端部通过螺栓可拆卸连接。

便于实现主钢笼与第二周向子钢笼的可拆卸连接。

进一步优选的，所述端部子钢笼包括环状圆环以及至少三个周向排布且径向向外延伸的延伸片；

所述延伸片上安装有端部安装孔；

所述上不锈钢圈上开设有与所述安装孔相对应的主钢笼安装孔；

所述主钢笼与所述端部子钢笼通过穿过主钢笼安装孔与端部安装孔的螺栓可拆卸连接。

便于主钢笼与端部子钢笼的可拆卸连接。

进一步优选的，所述上不锈钢圈以及所述下不锈钢圈均是角钢围成的圈体；