[实用新型]一种超微量元素分析仪的送样机构有效

专利信息
申请号: 201921160709.2 申请日: 2019-07-23
公开(公告)号: CN210534170U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 申请(专利权)人: 江苏艾匹克半导体设备有限公司
主分类号: G01N35/04 分类号: G01N35/04
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 黄冠华
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 微量元素 分析 样机
【说明书】:

实用新型公开了一种超微量元素分析仪的送样机构,包括分析仪本体,所述分析仪本体内部的右侧设置有放置板,所述放置板的底部与分析仪本体的内壁滑动连接,所述放置板顶部的两侧均滑动连接有夹板,所述夹板内部的外侧开设有放置槽,放置槽的内部设置有卡块,所述卡块的底部贯穿至放置板的内部。本实用新型通过设置分析仪本体、放置板、夹板、卡块、横块、第一弹簧、存料盒、盖板、把手、第二弹簧、按板和固定块的配合使用,解决了现有的分析仪在检测的过程中,无法对存料盒的位置进行定位,容易导致存料盒偏移掉落的问题,该超微量元素分析仪的送样机构,具备防掉落的优点,提高了分析仪的实用性。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域,具体为一种超微量元素分析仪的送样机构。

背景技术

物质存在的形式多种多样,固体、液体、气体、等离子体等等,我们通常把导电性差的材料,如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体,而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体,可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体,与导体和绝缘体相比,半导体材料的发现是最晚的,直到20世纪30年代,当材料的提纯技术改进以后,半导体的存在才真正被学术界认可。

在半导体生产的过程中,需要用到分析仪对半导体进行分析检测,但是现有的分析仪在检测的过程中,无法对存料盒的位置进行定位,容易导致存料盒偏移掉落,降低了分析仪的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超微量元素分析仪的送样机构,具备防掉落的优点,解决了现有的分析仪在检测的过程中,无法对存料盒的位置进行定位,容易导致存料盒偏移掉落的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种超微量元素分析仪的送样机构,包括分析仪本体,所述分析仪本体内部的右侧设置有放置板,所述放置板的底部与分析仪本体的内壁滑动连接,所述放置板顶部的两侧均滑动连接有夹板,所述夹板内部的外侧开设有放置槽,放置槽的内部设置有卡块,所述卡块的底部贯穿至放置板的内部,所述卡块的顶部贯穿至夹板的顶部,所述卡块的表面固定连接有横块,所述横块的两侧均与放置槽的内壁滑动连接,所述卡块的表面套设有第一弹簧,所述第一弹簧的顶部与放置槽的内壁固定连接,所述第一弹簧的底部与横块的顶部固定连接,所述放置板的顶部设置有存料盒,所述夹板的内侧与存料盒的表面接触,所述分析仪本体正面的右侧设置有盖板,所述盖板背面的两侧均与分析仪本体的正面滑动连接,所述盖板正面的顶部固定连接有把手,所述把手内壁正面的两侧均固定连接有第二弹簧,所述第二弹簧的背面固定连接有按板,所述按板两侧均与把手的内壁滑动连接,所述按板背面的两侧均固定连接有固定块,所述固定块的背面贯穿至分析仪本体的内部。

优选的,所述分析仪本体的内壁固定连接有限位块,所述放置板的底部开设有与限位块配合使用的限位槽,所述限位块和限位槽的形状均为T字型。

优选的,所述卡块的底部通过转轴活动连接有滚珠,所述滚珠的形状为球形,所述放置板的顶部开设有与卡块配合使用的卡槽,卡槽的数量不少于四个,且多个卡槽呈等距离分布,所述分析仪本体正面的顶部和底部均开设有与固定块配合使用的固定槽。

优选的,所述放置板的顶部固定连接有定位块,所述存料盒的底部开设有与定位块配合使用的定位槽。

优选的,所述夹板底部的前侧和后侧均固定连接有第一滑块,所述放置板的顶部开设有与第一滑块配合使用的第一滑槽,所述第一滑块和第一滑槽的形状均为L字型。

优选的,所述盖板背面的两侧均固定连接有第二滑块,所述分析仪本体的正面开设有与第二滑块配合使用的第二滑槽,所述第二滑块和第二滑槽的形状均为L字型。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

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