[实用新型]一种超微量元素分析仪的管道连接机构有效
申请号: | 201921160723.2 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN210531821U | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
主分类号: | F16L23/024 | 分类号: | F16L23/024 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微量元素 分析 管道 连接 机构 | ||
本实用新型公开了一种超微量元素分析仪的管道连接机构,包括分析仪本体,所述分析仪本体顶部的输出端连通有竖管,所述竖管的顶部设置有法兰,所述法兰的顶部连通有管道,所述竖管的表面套设有空心管,所述空心管的顶部与法兰的底部固定连接,所述分析仪本体顶部的两侧均固定连接有竖块,所述竖块位于竖管的外侧。本实用新型通过设置分析仪本体、竖管、法兰、空心管、竖块、卡块、横块、弹簧、活动杆、支块、活动板和管道的配合使用,解决了现有的分析仪在管道连接的过程中,大多是通过螺栓对管道进行连接,且连接过程繁琐的问题,该超微量元素分析仪的管道连接机构,具备便于连接的优点,提高了分析仪的实用性。
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域,具体为一种超微量元素分析仪的管道连接机构。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。
在半导体生产的过程中,需要用到分析仪对,分析仪在使用的过程中,会产生废气,废气在排放的过程中,需要对管道进行连接,但是现有的分析仪在管道连接的过程中,大多是通过螺栓对管道进行连接,且连接过程繁琐,降低了分析仪的实用性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种超微量元素分析仪的管道连接机构,具备便于连接的优点,解决了现有的分析仪在管道连接的过程中,大多是通过螺栓对管道进行连接,且连接过程繁琐的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种超微量元素分析仪的管道连接机构,包括分析仪本体,所述分析仪本体顶部的输出端连通有竖管,所述竖管的顶部设置有法兰,所述法兰的顶部连通有管道,所述竖管的表面套设有空心管,所述空心管的顶部与法兰的底部固定连接,所述分析仪本体顶部的两侧均固定连接有竖块,所述竖块位于竖管的外侧,所述竖块的内部开设有凹槽,凹槽的内部设置有卡块,所述卡块的顶部和底部均与凹槽的内壁滑动连接,所述卡块的内侧贯穿至空心管的内部,所述卡块的外侧固定连横块,所述横块的外侧贯穿至竖块的外侧,所述横块的表面套设有弹簧,所述弹簧的外侧与凹槽的内壁固定连接,所述弹簧的内侧与卡块的外侧固定连接,所述横块正面的外侧固定连接有活动杆,所述竖块外侧的底部固定连接有支块,所述支块的正面通过转轴活动连接有活动板,所述活动板的正面开设有与活动杆配合使用的活动孔,所述活动杆的表面与活动块的内壁滑动连接。
优选的,所述空心管的表面开设有与卡块配合使用的卡槽,凹槽的内壁开设有与卡块配合所对应的滑槽。
优选的,所述竖管内壁的顶部固定连接有第一固定块,所述法兰的底部开设有与第一固定块配合使用的固定槽,固定槽内壁的顶部固定连接有第一密封圈,所述第一密封圈的底部与第一固定块的顶部接触,所述第一固定块和固定槽的形状均为环形。
优选的,所述法兰的底部固定连接有第二固定块,所述第二固定块位于第一固定块的内侧,所述第一固定块的底部固定连接有支撑块,所述支撑块的表面与竖管的内壁固定连接,所述支撑块的顶部固定连接有第二密封圈,所述第二固定块的底部与第二密封圈的顶部接触,所述支撑块的横截面为三角形。
优选的,所述竖管的正面和背面均固定连接有限位块,所述空心管的内壁开设有与限位块配合使用的限位槽,所述限位块和限位槽的形状均为半圆形。
优选的,所述竖管的顶部固定连接有密封垫,所述密封垫的顶部与法兰的底部接触,所述密封垫的形状为环形。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
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