[实用新型]一种曝光灯可调节的曝光机

说明书

本实用新型公开了一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱，机箱的内侧通过螺栓固定有升降架，安装板的下端固定安装有曝光灯，安装板的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座，升降架的上表面设置有螺纹口，螺纹口的内侧螺纹连接有丝杆，丝杆的下端固定安装在轴承底座的内侧，丝杆的上端穿过机箱通过法兰连接有电机，限位杆的表面滑动连接有定位板。该种曝光灯可调节的曝光机，开启电机带动丝杆沿螺纹口转动，因为丝杆下端转动安装在轴承底座的表面，且轴承底座固定在安装板的表面，所以丝杆沿螺纹口转动时会带动安装板通过滑动块沿滑动槽上下，因为曝光灯安装在安装板的下表面，安装板沿滑动槽移动时也就控制的曝光灯的上下。

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体为一种曝光灯可调节的曝光机。

背景技术

曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。

现有曝光机内的曝光灯一般固定安装在机箱顶端，不可以进行移动调节，因为不同电路板曝光时间不同，如果适当的更改曝光灯与基板之间距离，就可以有效的提高曝光效率及曝光质量，因此需要一种可以调节曝光灯的曝光机；且现有曝光机因为曝光需要都比较密封，但是曝光灯使用一段时间后会产生高温导致机体内部及机体内部的空气温度上升，因此需要对曝光灯进行适量的降温以保持曝光灯的良好工作状态。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光灯可调节的曝光机，以解决曝光灯位置固定不变的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种曝光灯可调节的曝光机，包括机箱，所述机箱的内侧通过螺栓固定有升降架，所述升降架的两侧对称设置有滑动槽，所述滑动槽的内侧滑动连接有滑动块，所述滑动块之间焊接有安装板，所述安装板的下端固定安装有曝光灯，所述安装板的上表面通过螺栓固定安装有轴承底座，所述升降架的上表面设置有螺纹口，所述螺纹口的内侧螺纹连接有丝杆，所述丝杆的下端固定安装在轴承底座的内侧，所述丝杆的上端穿过机箱通过法兰连接有电机，所述升降架的表面对称焊接有四个限位杆，所述限位杆的表面滑动连接有定位板，所述定位板的表面通过螺栓固定有电机。

优选的，所述机箱的表面设置有出气口，出气口的内侧设置有第一防尘网，出气口的外侧机箱的表面通过螺栓固定有遮阳框，遮阳框的下端固定安装有百叶窗。

优选的，所述机箱的表面设置有进气口，进气口的外侧机箱的表面通过螺栓固定有导气管，导气管的内侧固定安装有轴流风扇，导气管的内固定安装有第二防尘网。

优选的，所述机箱的内侧设置有透光隔板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种曝光灯可调节的曝光机，第一，调节曝光灯高度时，开启电机带动丝杆沿螺纹口转动，因为丝杆下端转动安装在轴承底座的表面，且轴承底座固定在安装板的表面，所以丝杆沿螺纹口转动时会带动安装板通过滑动块沿滑动槽上下，因为曝光灯安装在安装板的下表面，安装板沿滑动槽移动时也就控制的曝光灯的上下；第二，轴流风扇旋转产生的风力沿导气管通过进气口进入机箱的内部，然后机箱内部的空气从出气口沿遮阳框向下通过百叶窗排出，以此加快了机箱内部空气的流通，起到了降温的作用，同时导气管弯曲设置及遮阳框的下表面设置有百叶窗，以此散热的同时避免的光线的射入影响曝光效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构剖面图；

图2为本实用新型的整体结构侧视剖面图；

图3为本实用新型的电路图。