[实用新型]用于熔射的旋转工作台

说明书

本实用新型公开了一种用于熔射的旋转工作台，包括机架，以及至少一个夹紧座，夹紧座以可转动方式安装在所述机架上，所述夹紧座具有夹紧待熔射产品的夹紧结构；机架上设有用于驱动所述夹紧座转动驱动电机。采用以上方案，可实现圆形产品正面和侧面的同时熔射或喷砂，确保各面涂层厚度均匀，同时提高各涂层间粘接良好，提高产品成品质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种用于熔射的旋转工作台。

背景技术

熔射产品形状基本都是方形结构，这样在熔射过程中产品的正面和侧面需要分开熔射，但随着技术发展，市场出现了圆形产品的需求，如在蚀刻腔中，为避免金属裸露，故通常会在连接螺栓的端部套装陶瓷帽，以达到绝缘效果，但蚀刻腔通常为等离子环境，纯陶瓷则会受到离子气体的蚀刻，所以需要就在陶瓷帽的外表面熔射一层涂层以延长其使用寿命，如仍采用传统正面侧面分开熔射的方法，则很难保证产品具有均匀的涂层厚度，同时各涂层间的粘合度也较差，大大降低了熔射成品质量及良品率。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种用于熔射的旋转工作台，以实现圆形产品正面和侧面的同时熔射，提高成品质量和良品率。

为实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种用于熔射的旋转工作台，其关键在于，包括：

机架；

至少一个夹紧座，其以可转动方式安装在所述机架上，所述夹紧座具有用于夹紧待熔射产品的夹紧结构；以及

驱动电机，其用于驱动所述夹紧座转动。

采用以上结构，在进行圆形产品的熔射或喷砂时，将产品夹持固定在夹紧座上，然后通过驱动电机驱动夹紧座转动，再通过机械手即可实现产品正面和侧面的同时熔射喷砂操作，且确保熔射产品涂层厚度均匀，从而提高了产品的成品质量。

作为优选：所述机架上具有与夹紧座一一对应设置的冷却喷嘴，所述冷却喷嘴具有用于连接冷却气源的管道。因为熔射过程中高温熔融状态的粉末堆垛到产品表面，因此产品温度会升高，高温对涂层的品质有很大的影响，而通过冷却喷嘴喷出强气流，可对涂层进行快速降温，降低高温对涂层的影响，进一步提高产品质量。

作为优选：所述机架上活动设置有分气管以及用于调节所述分气管高度的升降机构，所述夹紧座沿机架的长度方向分布，所述分气管与所述夹紧座的分布方向平行设置，各所述冷却喷嘴均与所述分气管固定连接，所述分气管的一端连接有进气管。采用以上方案，可根据产品大小及厚度，调整冷却喷嘴预产品的相对位置，以提高喷气冷却效果，且满足更多产品需求。

作为优选：所述进气管上设置有减压阀。采用以上方案，可以更好的控制喷气压力，确保各冷却喷嘴出气压力保持一致，避免气压过大影响涂层的粘接度。

作为优选：所述夹紧结构包括沿夹紧座轴向设置的插入孔，所述插入孔的上端敞口，所述夹紧座的一侧外壁上具有沿其径向贯通至所述插入孔的锁紧螺栓。采用以上方案，可实现产品的快速夹紧固定，且结构简单，成本较低。

作为优选：所述夹紧座通过轴承支撑在所述机架上，所述夹紧座底部具有竖直向下延伸的安装轴，各夹紧座的安装轴之间通过同步带传动机构实现同步转动，所述驱动电机的电机轴与其中一个安装轴动力连接。采用以上方案，通过一个电机即可实现所有夹紧座的同步传动，确保同批次的各产品熔射喷砂的同步性。

作为优选所述机架上配置有用于控制所述驱动电机的控制箱，所述控制箱具有转速显示屏、电机转速调节按钮和紧急停止按钮。采用以上方案，通过控制箱对电机的启停及转速实现适时操作控制，满足更多工艺需求。