[实用新型]一种蒸发源挡板有效
| 申请号： | 201921168390.8 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210529037U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;孙玉俊 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 魏小霞;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发源挡板，其特征在于，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；
所述挡板包括：第一挡板部、第二挡板部和第三挡板部；
所述第二挡板部分别连接所述第一挡板部和所述第三挡板部，所述第二挡板部内凹用于遮盖蒸发源开口；
所述第一挡板部与所述载台相向设置，所述第三挡板部与所述载台相向设置；
所述金属片分别设置于所述第一挡板部与所述载台相对应的下端、及所述第三挡板部与所述载台相对应的下端；
所述磁感应开关设置于所述载台上；
所述金属片与所述磁感应开关相向设置；
所述压力传感器设置于所述载台上，所述压力传感器设置于所述磁感应开关两侧。
2.根据权利要求1所述的一种蒸发源挡板，其特征在于，还包括：定位片；
所述压力传感器通过定位片设置于所述载台上。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发源挡板，其特征在于，
所述金属片长度大小与所述磁感应开关长度大小相同，且所述金属片与所述磁感应开关正相向设置。
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