[实用新型]一种掩膜板清洗装置

说明书

本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜板清洗装置。

背景技术

在液晶显示面板制造过程中，曝光是一个关键制程，掩膜板(Mask)是曝光的一个基本工具。掩膜板在使用过程中常常会产生脏污导致品质不良，特别是在接近式曝光过程中，掩膜板脏污会导致曝光出现共同性缺陷，对产品良率影响很大，因此掩膜板的清洗是一个必不可少的作业。

当掩膜板长时间在光刻车间存放，导致部分掩膜板存在表面被酸气腐蚀的现象，因此，在产线使用清洗时，常常存在掩膜板清洗不干净，表面存在水渍残留的问题。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的掩膜板清洗装置对掩膜板清洗不干净、存在水渍残留的缺陷，从而提供一种能够避免掩膜板水渍残留的掩膜板清洗装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：

载台，适于承载掩膜板；

吹气管道，用于对所述载台吹气；

喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；

感应器，设置在所述载台上；

控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。

还包括升降装置，设置在所述载台的下方，用于带动所述载台升降运动，所述载台的上方设有清洗设备。

所述吹气管道、喷水管道设在所述载台的下方，所述载台上设有适于所述吹气管道、喷水管道伸到所述载台上方的通道。

所述升降装置包括气缸、以及可在所述气缸的驱动下进行升降运动的升降轴，所述升降轴的第一端与所述载台连接。

所述升降轴的第二端连接轴承，所述轴承可移动的设置在所述气缸内，并具有上升到最高点的第一位置、以及下降到最低点的第二位置，所述气缸上对应所述第一位置处设有第一感应开关，所述第一感应开关用于控制所述喷水管道的通断。

所述气缸上对应所述第二位置处设有第二感应开关，所述第二感应开关用于控制所述吹气管道的通断。

所述轴承为磁性件，所述第一感应开关、所述第二感应开关均为磁性开关。

所述喷水管道上设有压力调节阀。

所述载台可转动的设置。

还包括设于所述载台上方的干燥设备，用于对所述掩膜板进行吹气干燥。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气，当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。