[实用新型]一种具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置

权利要求书

1.一种基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：包括工作台(1)、控制器(2)、用于刻蚀介质滤波器表面各区域金属层的激光器(4)、用于从取料盘取出介质滤波器放置到调试夹具上的送料机构(5)、用于固定介质滤波器的调试夹具(6)、用于旋转调试夹具角度从而带动介质滤波器旋转使激光器激光输出端对准介质滤波器加工面的旋转机构(7)和用于调节激光器的高度实现激光聚焦的调焦用Z轴机构(8)，所述控制器(2)分别与激光器(4)、送料机构(5)、调试夹具(6)和旋转机构(7)、调焦用Z轴机构(8)电连接，所述送料机构(5)、旋转机构(7)和调焦用Z轴机构(8)均安装在工作台上，所述激光器(4)的激光输出端对准调试夹具(6)上介质滤波器的加工面，所述调试夹具(6)安装于旋转机构(7)的水平转轴上；

所述调焦用Z轴机构(8)包括第二固定架(8.1)、竖向布置的导轨(8.4)、与导轨配合的滑台(8.3)和驱动滑台沿所述导轨做竖向运动的第三电机(8.2)，所述第二固定架(8.1)安装于工作台(1)上，所述导轨安装于第二固定架(8.1)上，所述激光器(4)安装于所述滑台上。

2.根据权利要求1所述的基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：所述送料机构(5)包括用于夹取介质滤波器的夹爪机构(5.4)和能够带动介质滤波器沿多方向运动的三轴运动平台，所述三轴运动平台包括X轴导轨(5.1)、Y轴导轨(5.2)和Z轴导轨(5.3)，所述X轴导轨(5.1)安装于工作台上，Y轴导轨(5.2)安装于X轴导轨(5.1)上，Z轴导轨安装于Y轴导轨(5.2)上，所述夹爪机构(5.4)安装于Z轴导轨(5.3)底部。

3.根据权利要求1所述的基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：所述调试夹具(6)包括气缸(6.1)、固定板(6.2)、压紧块(6.3)和用于安放介质滤波器的安装块(6.4)，所述气缸(6.1)固定于固定板(6.2)底部，所述固定板(6.2)安装于旋转机构(7)的转轴上，所述安装块(6.4)固定于固定板(6.2)上，所述压紧块(6.3)通过连接杆安装于安装块(6.4)上方，气缸(6.1)通过连接杆驱动压紧块(6.3)上下移动压紧安装块(6.4)上的介质滤波器，所述安装块(6.4)内设有用于测试介质滤波器的测试通道，测试通道连通至安装块表面形成多个测试接口。

4.根据权利要求1所述的基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：所述旋转机构通过水平移动平台安装在工作台上，水平移动平台包括用于驱动介质滤波器沿X轴运动的X轴移动导轨和用于驱动介质滤波器沿Y轴运动的Y轴移动导轨，所述X轴移动导轨和Y轴移动导轨分别与控制器电连接，所述X轴移动导轨安装于工作台上，Y轴移动导轨安装于X轴移动导轨上，旋转机构安装于Y轴移动导轨上。

5.根据权利要求1所述的基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：还包括用于吸取激光刻蚀过程中产生的碎屑和烟尘的抽吸风机(9)，抽吸风机与控制器电连接，所述抽吸风机(9)的抽吸端对准调试夹具(6)上介质滤波器的加工面。

6.根据权利要求1所述的基于激光刻蚀介质滤波器表面金属层的具有高度调节功能的介质滤波器的激光加工装置，其特征在于：还包括网络分析仪(3)，所述网络分析仪(3)的检测端连接调试夹具上的测试接口，网络分析仪(3)输出端连接控制器(2)输入端。