[实用新型]一种芯片用的手动探针台

权利要求书

1.一种芯片用的手动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑板(15)，所述支撑板(15)上开有第一滑槽(14)，所述第一滑槽(14)内安装有可沿第一滑槽(14)上下滑动的齿条箱(11)，所述齿条箱(11)内相对两侧面上设有齿条(13)，所述齿条箱(11)内还安装有与齿条(13)可相互啮合的齿轮(12)，所述齿轮(12)的轮齿未布满齿轮(12)的整个圆周面，所述齿条箱(11)上还开有通槽(10)，所述齿轮(12)的轮心连接有依次穿过通槽(10)和支撑板(15)的第一转轴(25)，所述第一转轴(25)的末端连接有第一手柄(24)；所述齿条箱(11)上连接有连接板(8)，所述连接板(8)上开有第一滑槽(14)，所述连接板(8)的顶面安装有顶板(7)，所述顶板(7)被第二转轴(6)穿过，所述第二转轴(6)的上端连接有第二手柄(5)，下端连接有可沿第二滑槽(9)上下滑动的操作台(16)，所述顶板(7)与第二转轴(6)通过螺纹连接；所述操作台(16)上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针(3)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述操作台(16)的顶面开有第三滑槽(29)，所述水平快调机构安装在第三滑槽(29)内，所述水平快调机构包括安装在第三滑槽(29)内且可沿第三滑槽(29)左右滑动的滑动板(23)，所述滑动板(23)上设有固定机构，所述滑动板(23)的顶面安装有竖直板(22)，所述微调机构安装在竖直板(22)上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述微调机包括第三转轴(27)，所述第三转轴(27)沿滑动板(23)滑动的方向穿过竖直板(22)且与竖直板(22)间均通过螺纹连接，所述第三转轴(27)的一端连接有第三手柄(26)，另一端连接有轴承(28)，所述轴承(28)上连接有连接环(19)，所述连接环(19)上安装有探针(3)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于，所述轴承(28)包括从外到内依次连接成一体的外圈(281)、滚动体(282)和内圈(283)，所述内圈(283)与第三转轴(27)接触，所述外圈(281)与连接环(19)接触。

5.根据权利要求2-4任一项所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述固定机构包括开在操作台(16)上的多个安装孔(20)，所述滑动板(23)上连接有固定片(21)，所述固定片(21)可通过螺钉与安装孔(20)连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述放物台包括安装在底座(1)上的放物筒(2)，所述放物筒(2)的顶面安装有放物槽(17)，所述放物槽(17)内安装有放物板(18)，所述放物筒(2)的顶面开有电机槽(30)，所述电机槽(30)内安装有电机(31)，所述电机(31)连接有穿过放物槽(17)并连接放物板(18)的第四转轴(32)。