[实用新型]一种缩短了退火周期罩式退火炉

说明书

本实用新型公开了一种缩短了退火周期罩式退火炉，包括底座，所述底座顶壁固定连接有冷却罩，底座顶壁活动连接有转动杆，所述转动杆外壁的底部固定连接有把手，把手的外部边缘贯穿设有限位杆，所述转动杆外壁的顶部固定连接有套筒，所述套筒外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆远离套筒的一端底壁固定连接有电动绞盘，所述冷却罩的内顶壁固定连接有水冷却机构，所述内罩的外壁开设有沟槽。本实用新型涉及热处理设备技术领域。该缩短了退火周期罩式退火炉，通过设置有转动杆和限位杆，可以很便捷的实现加热罩和冷却罩的调换以及位置的固定，通过设置有水冷却机构以及沟槽，散热效果更好，大大缩短了退火周期。

技术领域

本实用新型涉及热处理设备技术领域，具体为一种缩短了退火周期罩式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，罩式退火炉主要用于在自然气氛中进行薄板材退火以及钢件的正火处理。

现有的罩式退火炉的工作流程中涉及到加热罩和冷却罩的调换，通常由人为的使用吊装机器进行加热罩和冷却罩的调换，在调换过程中需要定位以及安装固定，大大浪费了工作时间，降低了工作料率，且存在一定安全隐患，同时冷却罩通常采用在其顶部安装喷淋来进行冷却，但是喷淋而下的水无法均匀的分散到内罩的表面，存在冷却不均匀的情况，大大增加了退火周期，为此我们设计出一种缩短了退火周期罩式退火炉，来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种缩短了退火周期罩式退火炉，解决了现有的罩式退火炉的工作流程中涉及到加热罩和冷却罩的调换，通常由人为的使用吊装机器进行加热罩和冷却罩的调换，在调换过程中需要定位以及安装固定，大大浪费了工作时间，降低了工作料率，且存在一定安全隐患，同时冷却罩通常采用在其顶部安装喷淋来进行冷却，但是喷淋而下的水无法均匀的分散到内罩的表面，存在冷却不均匀的情况，大大增加了退火周期的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种缩短了退火周期罩式退火炉，底座，所述底座的顶壁固定连接有炉台，所述炉台的顶壁中心固定连接有内罩，所述内罩的外部套设有加热罩，所述加热罩的两侧固定连接有导向杆，所述底座顶壁的右侧固定连接有冷却罩，所述底座顶壁的中部竖直方向上活动连接有转动杆，所述转动杆外壁的底部固定连接有把手，所述把手的外部边缘贯穿设有限位杆，所述转动杆外壁的顶部固定连接有套筒，所述套筒外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆远离套筒的一端底壁固定连接有电动绞盘，所述冷却罩的内顶壁固定连接有水冷却机构，所述水冷却机构包括环形管，所述环形管的内壁焊接有八个连接管，所述连接管的焊接有喷头，所述内罩的外壁开设有沟槽。

优选的，所述底座底壁的中部开设有圆形槽，所述圆形槽内活动连接有轴承，所述轴承内壁固定连接有转动杆。

优选的，所述限位杆的贯穿把手后延伸至底座内部，所述限位杆与把手和底座均为活动连接。

优选的，八个所述连接管呈环形阵列分布。

优选的，所述沟槽位置与连接管相适配，且所述沟槽沿内罩管壁竖直方向设置。

优选的，所述加热罩与冷却罩的顶壁均固定连接有与电动绞盘挂钩相适配的挂耳。

有益效果

本实用新型提供了一种缩短了退火周期罩式退火炉。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该缩短了退火周期罩式退火炉，通过在底座顶壁的中部竖直方向上活动连接有转动杆，转动杆外壁的底部固定连接有把手，把手的外部边缘贯穿设有限位杆，转动杆外壁的顶部固定连接有套筒，套筒外壁的左、右两侧均固定连接有连接杆，连接杆远离套筒的一端底壁固定连接有电动绞盘，通过设置有电动绞盘可以很方便的吊装加热罩和冷却罩，通过设置有转动杆和限位杆，可以很便捷的实现加热罩和冷却罩的调换以及位置的固定，