[实用新型]方舟结构有效
申请号: | 201921179559.X | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN211238182U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 林佳继;高忠祥;刘群;朱太荣;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方舟 结构 | ||
1.方舟结构,其特征在于:包括第一舟板、第二舟板;第一舟板、第二舟板间隔排布;第一舟板、第二舟板之间设置支撑柱;第一舟板、第二舟板相应位置上设置放置加工产品的凹槽,支撑柱设置在第一舟板、第二舟板的边角位置,且采用绝缘材料。
2.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:还包括框架、匀流板;框架顶端和低端都设置匀流板,顶端和低端的匀流板之间设置第一舟板、第二舟板。
3.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:上一层的第一舟板和下一层的第一舟板之间设置电极柱,上一层的第二舟板和下一层的第二舟板之间设置电极柱;第一舟板设置的电极柱和第二舟板设置的电极柱不在同一水平线上。
4.根据权利要求3所述的方舟结构,其特征在于:电极柱包括底部和顶部,底部整体呈圆环柱形,顶部整体呈圆柱形,底部的外径大于顶部的直径;底部的内径与顶部的直径相适配,实现电极柱与电极柱之间的叠加。
5.根据权利要求4所述的方舟结构,其特征在于:底部侧面采用绝缘材料覆盖。
6.根据权利要求3所述的方舟结构,其特征在于:第一舟板上的电极柱设置至少两个,电极柱之间设置导电连接杆,第二舟板上的电极柱设置至少两个,电极柱之间也设置导电连接杆;此设置使所在第一舟板和第二舟板整体形成电极。
7.根据权利要求2所述的方舟结构,其特征在于:框架底部设置支撑脚;上一层的第一舟板和下一层的第一舟板之间设置电极柱,上一层的第二舟板和下一层的第二舟板之间设置电极柱,在匀流板与第一舟板和第二舟板连接电极柱的相应位置上设置缺角。
8.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:支撑柱整体呈圆柱形,第一舟板和第二舟板连接支撑柱的相应位置处都设置相应的孔;第一舟板和第二舟板的整体形状、结构相同,只在第二舟板上与第一舟板设置电极柱的对应位置处设置缺口,而在第一舟板上与第二舟板设置电极柱的对应位置处设置缺口。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造