[实用新型]方舟结构有效

专利信息
申请号: 201921179559.X 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN211238182U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 林佳继;高忠祥;刘群;朱太荣;林依婷 申请(专利权)人: 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 518118 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 方舟 结构
【权利要求书】:

1.方舟结构,其特征在于:包括第一舟板、第二舟板;第一舟板、第二舟板间隔排布;第一舟板、第二舟板之间设置支撑柱;第一舟板、第二舟板相应位置上设置放置加工产品的凹槽,支撑柱设置在第一舟板、第二舟板的边角位置,且采用绝缘材料。

2.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:还包括框架、匀流板;框架顶端和低端都设置匀流板,顶端和低端的匀流板之间设置第一舟板、第二舟板。

3.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:上一层的第一舟板和下一层的第一舟板之间设置电极柱,上一层的第二舟板和下一层的第二舟板之间设置电极柱;第一舟板设置的电极柱和第二舟板设置的电极柱不在同一水平线上。

4.根据权利要求3所述的方舟结构,其特征在于:电极柱包括底部和顶部,底部整体呈圆环柱形,顶部整体呈圆柱形,底部的外径大于顶部的直径;底部的内径与顶部的直径相适配,实现电极柱与电极柱之间的叠加。

5.根据权利要求4所述的方舟结构,其特征在于:底部侧面采用绝缘材料覆盖。

6.根据权利要求3所述的方舟结构,其特征在于:第一舟板上的电极柱设置至少两个,电极柱之间设置导电连接杆,第二舟板上的电极柱设置至少两个,电极柱之间也设置导电连接杆;此设置使所在第一舟板和第二舟板整体形成电极。

7.根据权利要求2所述的方舟结构,其特征在于:框架底部设置支撑脚;上一层的第一舟板和下一层的第一舟板之间设置电极柱,上一层的第二舟板和下一层的第二舟板之间设置电极柱,在匀流板与第一舟板和第二舟板连接电极柱的相应位置上设置缺角。

8.根据权利要求1所述的方舟结构,其特征在于:支撑柱整体呈圆柱形,第一舟板和第二舟板连接支撑柱的相应位置处都设置相应的孔;第一舟板和第二舟板的整体形状、结构相同,只在第二舟板上与第一舟板设置电极柱的对应位置处设置缺口,而在第一舟板上与第二舟板设置电极柱的对应位置处设置缺口。

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