[实用新型]应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层有效
申请号: | 201921181179.X | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN210272385U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 刘建庆;高熙隆;文宏;刘雪珍;刘恒昌 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/041;H01L31/0687;H01L31/0693 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 冯炳辉 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 晶格 失配 太阳能电池 外延 生长 渐变 缓冲 | ||
1.应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层,其特征在于:所述晶格渐变缓冲层位于晶格失配太阳能电池的晶格失配外延材料和衬底之间,或晶格失配外延材料与衬底晶格常数相同的外延层之间,由多套具有不同反射波段的复合DBR叠置而成,每套复合DBR由多对叠置在一起的DBR对构成,且相邻DBR对之间的晶格常数呈梯度变化,每对DBR对包含两层半导体材料层,该两层半导体材料层的折射率不同但晶格常数相同或存在能够达到应变补偿的失配。
2.根据权利要求1所述的应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层,其特征在于:邻近于衬底的第一对DBR对的晶格常数与衬底匹配,最后一对DBR对与晶格失配外延材料晶格匹配,而它们之间的DBR对的晶格常数从第一对DBR对往最后一对DBR对方向梯度增加。
3.根据权利要求1所述的应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层,其特征在于:所述复合DBR至少有两套,且各套DBR反射波段(λ1-Δλ)~(λ1+Δλ)至(λn-Δλ)~(λn+Δλ),其中综合范围(λ1-Δλ)~(λn+Δλ)根据相邻子电池带隙决定,λ1为第一套复合DBR的中心反射波长,λn为第n套复合DBR的中心反射波长,n为整数,Δλ为某套复合DBR反射范围的1/2,中心反射波长λ间隔在10~80nm范围内,每套周期为3~20对。
4.根据权利要求1所述的应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层,其特征在于:每对DBR对的两层半导体材料层需具有不同折射率,为As系材料层或P系材料层,其厚度设计遵循公式:式中,d为厚度,λ为预计反射波段的中心反射波长,n为相应半导体材料的折射率;其中As系材料折射率大于P系,同系材料中铝组分越高折射率越低。
5.根据权利要求1所述的应用于晶格失配太阳能电池外延生长的晶格渐变缓冲层,其特征在于:每对DBR对的两层半导体材料层的晶格常数能够相同,也允许存在能够达到应变补偿的失配,失配度在0.01%~5%范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的