[实用新型]一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪

说明书

本实用新型涉及一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪，其中气流流量控制装置包括送气装置、分流装置和第一控流组件，分流装置具有第一内腔和与第一内腔连通的第一进气口及第一出气口，通过分流装置的设置将送气装置送出的一路气流实现分流分成多路气流，供不同的用气设备或者用气设备的不同进气端口进气用；第一控流组件密封连接在第一内腔中且位于第一进气口和第一出气口之间，第一控流组件上开设有多个第一控流孔，多个第一控流孔的孔径不同，由于不同的控流孔在特定的压力下其对应的流量不同，通过第一控流孔的设置可以实现多路气流的流量调节控制；相比于现有的质量流量控制器和针阀、多通阀等，其结构简单，而且流量调节精确，调节操作方便。

技术领域

本实用新型涉及离子迁移谱技术领域，具体涉及一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪。

背景技术

离子迁移谱仪是一种将待测分子转化为带电离子，带电离子在迁移电场作用下移动，同时在气体环境中不断碰撞，最后通过分析其移动速度，区分出不同离子的仪器。其中气体环境可以是氮气、氩气等单纯气体，也可以是空气；一般要求比较纯净，稳定。

在仪器中，气体不但要承担提供稳定碰撞气体的作用，而且要承担将样品带入到离子源区域，以便将待测样品离子化，有时候还要将气体分流作为其他用途。但是一般情况下提供气体运动的气泵或者气瓶数量有限，不可能每一路气体都采用一个泵提供流量，因此，需要采用分流结构将一路分成多路，并采用流量控制器等实现各支路的气流控制的目的。

现有的离子迁移谱仪中应用的流量控制器大多采用质量流量控制器实现精确控制各分支气路流量，虽然能实现精确控制气流，但是质量流量控制器存在造价高、体积大等弊端；也有部分采用针阀进行流量控制，但是使用针阀进行流量控制时存在调节困难的弊端，无法实现精确控制；另外还有部分直接采用三通或者多通，采用三通或者多通进行流量控制时存在气流流量波动大的弊端，也无法实现精确控制；上述几种流量控制结构均存在无法满足精确控制流量的同时也满足结构简单、调节方便。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的技术问题。

本实用新型的一种气流流量控制装置，包括：

送气装置；

分流装置，具有第一内腔及与所述第一内腔连通的至少一个第一进气口和至少两个第一出气口；所述第一进气口通过第一管道与所述送气装置连通；

第一控流组件，具有外周密封设置于所述分流装置的第一内腔中并位于所述第一进气口和所述第一出气口之间的第一控流部件，所述第一控流部件设有若干个第一控流孔，至少部分所述第一控流孔的孔径不同；及将至少一个所述第一控流孔与一个所述第一出气口对应密封连通的第一控流通道，任意相邻两个所述第一控流通道密封隔开。

优选地，所述的气流流量控制装置，所述第一控流孔与所述第一出气口一一对应。

优选地，所述的气流流量控制装置，所述第一控流孔与其对应的所述第一出气口之间通过第二管道密封连接，所述第二管道作为所述第一控流通道。

优选地，所述的气流流量控制装置，所有所述第一控流孔的孔径均不相同。

优选地，所述的气流流量控制装置，还包括汇流装置，具有第二内腔及与所述第二内腔连通的至少一个第二出气口和至少两个第二进气口，所有的所述第二进气口通过第三管道与用气设备连通；

第二控流组件，具有外周密封设置于所述汇流装置的第二内腔中并位于所述第二进气口和所述第二出气口之间的第二控流部件，所述第二控流部件设有若干个第二控流孔，至少部分所述第二控流孔的孔径不同；及将至少一个所述第二控流孔与一个所述第二进气口对应密封连通的第二控流通道，任意相邻两个所述第二控流通道密封隔开。